Pat
J-GLOBAL ID:200903061593205716
電子部品用コンタクタ
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
伊東 忠彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998298868
Publication number (International publication number):2000131342
Application date: Oct. 20, 1998
Publication date: May. 12, 2000
Summary:
【要約】【課題】本発明はLSI,LCDなどの電子部品の動作試験に用いる電子部品用コンタクタに関し、電極間ピッチが狭ピッチ化しても確実に電子部品とコンタクト電極との電気的接続を行なうことを課題とする。【解決手段】絶縁基板11-1 とコンタクト電極12Aとを有し、コンタクト電極12Aがデバイス14Aの電極15と接触することにより電気的な接続を得る電子部品用コンタクタにおいて、絶縁基板11-1 に開口部20-1 を設けることにより変位可能な構成とされた変位部と、この変位部に対して変位しにくい構成とされ不変位部30-1 とを設ける。これにより、コンタクト電極12A等に高さバラツキが存在しても、変位部(絶縁基板11-1 の開口部20-1 が形成された位置)が変位することにより、この高さバラツキを吸収する。
Claim (excerpt):
電気的絶縁基板と、該電気的絶縁基板の電子部品の端子形成位置に対応した位置に設けられたコンタクト電極とを具備し、該電子部品の端子と接触することにより、電気的な接続を得る電子部品用コンタクタにおいて、前記電気的絶縁基板に、容易に変位可能な構成とされた変位部と、該変位部に対して変位しにくい構成とされ不変位部とを設けたことを特徴とする電子部品用コンタクタ。
IPC (3):
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
FI (3):
G01R 1/073 F
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 B
F-Term (18):
2G003AA07
, 2G003AG03
, 2G003AG07
, 2G003AG08
, 2G003AG12
, 2G011AA03
, 2G011AA10
, 2G011AA16
, 2G011AB02
, 2G011AB08
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 2G011AE22
, 2G011AF06
, 4M106AA02
, 4M106AA04
, 4M106BA14
, 4M106DJ34
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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プローブ構造および導通検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-130674
Applicant:日東電工株式会社
-
特開平4-363671
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半導体検査装置及びこれを用いた検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-066912
Applicant:富士通株式会社
-
プローブ構造
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-199625
Applicant:日東電工株式会社
-
マイクロプローバ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-087721
Applicant:エージングテスタ開発協同組合
-
プローブ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-127333
Applicant:日東電工株式会社
-
プローブ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-238190
Applicant:東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
-
半導体ウェハ収納器、接続方法、接続装置及び半導体集積回路の検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-308594
Applicant:松下電器産業株式会社
-
特開平4-363671
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