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J-GLOBAL ID：200903061632339652

プラズマ処理装置の内壁保護部材

Inventor：
上井 敏治

About 上井 敏治

, 
駒田 修

About 駒田 修


Applicant, Patent owner：
東海カーボン株式会社

About 東海カーボン株式会社


Agent (1)： 福田 保夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998282170
Publication number (International publication number)：2000109989
Application date： Oct. 05, 1998
Publication date： Apr. 18, 2000
Summary：
【要約】【課題】 プラズマ処理装置の内壁部を効果的に保護し、内壁部の損耗によるパーティクル(ダスト)の発生を低減化して長時間、安定にプラズマ処理を可能とするプラズマ処理装置の内壁保護部材を提供する。【解決手段】 炭素材の表面にSiC被膜が被着され、SiC被膜の膜厚が0.02〜0.5mm、SiC被膜の表面粗度Ra が5.0μm 以下の性状を備えたSiC被覆炭素材から形成されたプラズマ処理装置の内壁保護部材。プラズマ処理装置はRIE装置が好ましく、RIE装置は対向する2つの電極板の各々に高周波電力を印加する方式が好ましい。
Claim (excerpt)：
炭素材の表面にSiC被膜が被着され、SiC被膜の膜厚が0.02〜0.5mm、SiC被膜の表面粗度Ra が5.0μm 以下、の性状を備えたSiC被覆炭素材から形成されてなることを特徴とするプラズマ処理装置の内壁保護部材。
IPC (4)：
C23F 4/00 ,  C23C 16/505 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065
FI (4)：
C23F 4/00 A ,  C23C 16/50 B ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B
F-Term (41)：
4K030AA03 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA10 ,  4K030AA17 ,  4K030BA37 ,  4K030BB11 ,  4K030CA01 ,  4K030CA04 ,  4K030FA03 ,  4K030FA10 ,  4K030JA01 ,  4K030KA08 ,  4K030KA47 ,  4K057DA01 ,  4K057DB20 ,  4K057DD03 ,  4K057DE06 ,  4K057DE08 ,  4K057DE14 ,  4K057DM05 ,  4K057DM40 ,  4K057DN01 ,  5F004AA05 ,  5F004AA06 ,  5F004AA13 ,  5F004AA15 ,  5F004BA04 ,  5F004BC08 ,  5F004BD03 ,  5F004DA01 ,  5F004DA16 ,  5F004DA23 ,  5F004DA26 ,  5F004DB01 ,  5F045AB02 ,  5F045AC05 ,  5F045AC11 ,  5F045AC16 ,  5F045DP02 ,  5F045HA13
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (13)
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