ビーム検出部材およびそれを用いたビーム検出器

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：梶良之 , 須原誠 , 竹中芳通
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007000673
Publication number (International publication number)：2007262381
Application date： Jan. 05, 2007
Publication date： Oct. 11, 2007
Summary：

【課題】放射光ビームや軟X線ビーム等の位置及びその強度分布、更には、これらの時間変化を高精度で長期間安定して検出することが可能で、従来の検出装置よりも低コストで製造し得るビーム検出部材およびそれを用いたビーム検出器を提供する。【解決手段】ビームの位置や強度を検出するためのビーム検出部材2であって、ビーム7が照射されるビーム照射部6が、少なくとも珪素(Si)、窒素(N)、リチウム(Li)、ベリリウム(Be)、ホウ素(B)、リン(P)、硫黄(S)、ニッケル(Ni)、バナジウム(V)から選ばれた一種または二種以上の元素(X)を、X/C=0.1〜1000ppm含む多結晶ダイヤモンド(C)膜4からなり、この多結晶ダイヤモンド膜4に前記ビーム7が照射されると発光8,8aする発光機能を有する。このようなビーム検出部材2と前記発光現象を観測する発光観測手段3,3aとによりビーム検出器1を構成する。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

ビームの位置や強度を検出するためのビーム検出部材であって、ビームが照射されるビーム照射部が、少なくとも珪素(Si)、窒素(N)、リチウム(Li)、ベリリウム(Be)、ホウ素(B)、リン(P)、硫黄(S)、ニッケル(Ni)、バナジウム(V)から選ばれた一種または二種以上の元素(X)を、X/C=0.1〜1000ppm含む多結晶ダイヤモンド(C)膜からなり、この多結晶ダイヤモンド膜に前記ビームが照射されると発光する発光機能を有することを特徴とするビーム検出部材。

IPC (3)：

C09K 11/65 , G01T 1/29 , C09K 11/00

FI (4)：

C09K11/65 , G01T1/29 A , G01T1/29 B , C09K11/00 A

F-Term (21)：

2G088EE29 , 2G088FF02 , 2G088FF12 , 2G088FF13 , 2G088FF14 , 2G088GG21 , 2G088GG30 , 2G088JJ09 , 2G088JJ32 , 2G088KK35 , 4H001CA02 , 4H001XA06 , 4H001YA03 , 4H001YA04 , 4H001YA05 , 4H001YA07 , 4H001YA14 , 4H001YA15 , 4H001YA16 , 4H001YA23 , 4H001YA28

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

透過型X線ビームモニター方法およびモニター装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-114950 Applicant：工業技術院長, 住友電気工業株式会社
放射光位置モニター
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-082880 Applicant：理化学研究所, 石川島播磨重工業株式会社, 住友電気工業株式会社
放射光位置モニターとその位置検出方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-101868 Applicant：理化学研究所, 住友電気工業株式会社, 石川島播磨重工業株式会社

Show all

Cited by examiner (6)

特開平3-020691
ダイヤモンドへの異種元素導入方法並びにダイヤモンド及びダイヤモンドを用いたトランジスタ素子、電子放出素子若しくは発光素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-279127 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所
特開平3-281594

Show all

Return to Previous Page