深紫外線センサー

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002256880
Publication number (International publication number)：2004095958
Application date： Sep. 02, 2002
Publication date： Mar. 25, 2004
Summary：

【課題】従来技術では素子単体で225nm以下の波長の紫外線にのみ感度を持つセンサーは大型のものか、ダイヤモンドに高電圧を印加して動作するものしかなかった。【構成】リンをドープしたn型ダイヤモンドをn型層に用いたpn接合による225nm以下の波長の紫外線を検知する深紫外線センサー。これは200nmの波長における検出感度(I200)と250nmにおける検出感度(I250)の比(I200/I250)が100以上である。リンをドープしたn型ダイヤモンドをn型層に用いたpin接合による225nm以下の波長の紫外線を検知する深紫外線センサー。これは200nmの波長における検出感度(I200)と250nmにおける検出感度(I250)の比(I200/I250)が1000以上である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

リンをドープしたn型ダイヤモンドをn型層に用いたpn接合による225nm以下の波長の紫外線を検知する深紫外線センサー。

IPC (1)：

H01L31/10

FI (1)：

H01L31/10 A

F-Term (11)：

5F049MA02 , 5F049MA04 , 5F049MB02 , 5F049MB11 , 5F049NA10 , 5F049NA20 , 5F049NB07 , 5F049PA03 , 5F049SS03 , 5F049SS09 , 5F049WA05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

ダイヤモンドpn接合ダイオードおよびその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-244883 Applicant：工業技術院長, 科学技術振興事業団
ダイヤモンド紫外光発光素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-368095 Applicant：独立行政法人物質・材料研究機構
紫外線検出素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-081750 Applicant：大阪瓦斯株式会社

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