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J-GLOBAL ID：200903062454154577
磁気抵抗多層膜
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
保立 浩一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003335454
Publication number (International publication number)：2005101441
Application date： Sep. 26, 2003
Publication date： Apr. 14, 2005
Summary：
【課題】 磁気抵抗多層膜の構造において層間結合を効果的に低減させることができる実用的な技術を提供する。【解決手段】 巨大磁気抵抗効果を利用する再生用磁気ヘッドやMRAMに使用される磁気抵抗多層膜であり、反強磁性層3と、反強磁性層3との結合により磁化の向きが固定されている磁化固定層4と、非磁性スペーサ層5と、磁化の向きが自由である磁化自由層6とが順に積層された構造を有する。反強磁性層3の磁化固定層4とは反対側には、Crの原子数比が41%以上で、好ましくは70%以下であるNiCr膜より成る下地層7が設けられている。各層の薄膜は、マグネトロンスパッタリングにより作製される。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
反強磁性層と、反強磁性層との結合により磁化の向きが固定されている磁化固定層と、非磁性スペーサ層と、磁化の向きが自由である磁化自由層とが順に積層された磁気抵抗多層膜であって、
反強磁性層の磁化固定層とは反対側には、ニッケルとクロムとより成る層であって、クロムの原子数比が41%以上である反対側層を有することを特徴とする磁気抵抗多層膜。
IPC (3)：
H01L43/08
, G11B5/39
, H01L27/105
H01L43/08 Z
, G11B5/39
, H01L27/10 447
5D034BA03
, 5D034BB00
, 5F083FZ10
, 5F083JA02
, 5F083JA37
, 5F083JA38
, 5F083JA39
, 5F083JA60
Cited by applicant (1)
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スピンバルブ型巨大磁気抵抗薄膜の製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2001-278723
Applicant：アネルバ株式会社
Cited by examiner (6)
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