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J-GLOBAL ID:200903062659132800

電気集積回路および該電気集積回路を製造する方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 矢野 敏雄 (外4名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2000539521
Publication number (International publication number):2002509354
Application date: Dec. 16, 1998
Publication date: Mar. 26, 2002
Summary:
【要約】本発明は、電気集積回路であって、複数の構造平面が設けられており、該構造平面において、少なくとも1つの素子用構造平面上に電気的な能動素子(20,30,40;520,530,540)が位置しており、前記素子用構造平面の上側に、少なくとも1つの絶縁層(320;820)が配置されており、該絶縁層(320;820)の内部および/または上側に、電気的な接続線路(330,340,350,360,410,420,430;830,840,850,860,910,920)が配置されており、該接続線路(330,340,350,360,410,420,430;830,840,850,860,910,920)の少なくとも一部分が、該接続線路の特性にとって有利である量の銅を含んでおり、前記接続線路(330,340,350,360,410,420,430;830,840,850,860,910,920)の下側に、銅の拡散を防止かつ/または阻止する少なくとも1つの拡散ブロッカが配置されている形式のものに関する。さらに、本発明は、電気集積回路を製造する方法に関する。
Claim (excerpt):
電気集積回路であって、 複数の構造平面が設けられており、 該構造平面において、少なくとも1つの素子用構造平面上に電気的な能動素子(20,30,40;520,530,540)が位置しており、 前記素子用構造平面の上側に、少なくとも1つの絶縁層(320;820)が配置されており、 該絶縁層(320;820)の内部および/または上側に、電気的な接続線路(330,340,350,360,410,420,430;830,840,850,860,910,920)が配置されており、 該接続線路(330,340,350,360,410,420,430;830,840,850,860,910,920)の少なくとも一部分が、該接続線路の特性にとって有利である量の銅を含んでおり、 前記接続線路(330,340,350,360,410,420,430;830,840,850,860,910,920)の下側に、銅の拡散を防止かつ/または阻止する少なくとも1つの拡散ブロッカが配置されている形式のものにおいて、 拡散ブロッカが、接点ホール(170,180,190,200,210,220;670,680,690,700,710,720)および/または接続片(750,760,770,780,790,800)の領域においてのみ中断されたブロッカ層(160;660)として形成されており、該ブロッカ層(160;660)が、前記素子用構造平面と絶縁層(320;820)との間に位置していることを特徴とする電気集積回路。
IPC (3):
H01L 21/768 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/318
FI (3):
H01L 21/316 M ,  H01L 21/318 M ,  H01L 21/90 K
F-Term (58):
5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033HH11 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ32 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK01 ,  5F033KK08 ,  5F033KK09 ,  5F033KK11 ,  5F033MM08 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033NN38 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ14 ,  5F033QQ25 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ74 ,  5F033QQ75 ,  5F033RR01 ,  5F033RR03 ,  5F033RR04 ,  5F033RR05 ,  5F033RR06 ,  5F033RR07 ,  5F033RR08 ,  5F033RR11 ,  5F033RR15 ,  5F033RR21 ,  5F033RR22 ,  5F033SS02 ,  5F033SS04 ,  5F033SS11 ,  5F033SS15 ,  5F033VV00 ,  5F033WW02 ,  5F033XX01 ,  5F033XX03 ,  5F033XX10 ,  5F033XX24 ,  5F033XX27 ,  5F033XX28 ,  5F058BA20 ,  5F058BD02 ,  5F058BD04 ,  5F058BD05 ,  5F058BD06 ,  5F058BD10 ,  5F058BD15 ,  5F058BD19 ,  5F058BF07 ,  5F058BJ02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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