石英系ガラス用原料及び石英系ガラスの製造方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：青山葆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001229982
Publication number (International publication number)：2003040627
Application date： Jul. 30, 2001
Publication date： Feb. 13, 2003
Summary：

【要約】【課題】極めて扱いやすく、高濃度で均一な添加元素の添加が可能で、しかも段差被覆性が良好で高速合成時においても透明な膜の製造が可能な石英系ガラス用原料および石英系ガラスの製造方法を提供する。【解決手段】珪素を含む有機化合物、または、硼素、リン、ゲルマニウムのうちから選ばれた少なくとも一種類の元素を含む有機化合物を、テトラヒドロフランを含む有機溶剤に溶解させた石英系ガラス用原料を、液体原料タンク2〜5から気化装置8で気化させて原料ガスとし、該原料ガスに反応ガスを混合してCVD反応炉11で化学反応により基体14上に石英系ガラスを堆積させる。

Claim (excerpt)：

珪素を含む有機化合物を、テトラヒドロフランを含む有機溶剤に溶解してなることを特徴とする石英系ガラス用原料。

IPC (3)：

C03B 8/04 , G02B 6/00 376 , G02B 6/12

FI (4)：

C03B 8/04 D , C03B 8/04 E , G02B 6/00 376 A , G02B 6/12 N

F-Term (21)：

2H047KA04 , 2H047KB04 , 2H047LA02 , 2H047PA00 , 2H047PA01 , 2H047PA05 , 2H047PA21 , 2H047PA24 , 2H047QA02 , 2H047QA04 , 2H047QA07 , 2H050AB03Z , 2H050AB05Z , 2H050AB07X , 2H050AB08Z , 2H050AB09Z , 2H050AB16X , 2H050AB17X , 2H050AB18X , 4G014AH12 , 4G014AH23

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

化学気相蒸着法による薄膜形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-278869 Applicant：積水化学工業株式会社
光導波路用ガラス膜の形成方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-074533 Applicant：日立電線株式会社
特開平4-270130

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