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J-GLOBAL ID：200903063940952015

電子放出源の製造方法、電子放出源及び蛍光発光型表示器

Inventor：
伊藤 茂生

About 伊藤 茂生

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新山 剛宏

About 新山 剛宏


Applicant, Patent owner：
双葉電子工業株式会社

About 双葉電子工業株式会社


Agent (1)： 大塚 秀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999202562
Publication number (International publication number)：2001035361
Application date： Jul. 16, 1999
Publication date： Feb. 09, 2001
Summary：
【要約】【課題】 カーボンナノチューブ、フラーレン、ナノパーティクル、ナノカプセル及びカーボンナノホーンの中の少なくとも一つを有するカーボン材料を用いて、低電圧駆動で高効率な電子放出を可能にすること。【解決手段】 絶縁基板101上に、カソード導体102、抵抗層201、カーボンナノチューブを含むカーボン材料によって形成されたエミッタ301を積層した後、ドライエッチングによってエミッタ301の上部表面をエッチング処理する。その後、リブ状ゲート電極403を形成することにより電子放出源が完成する。
Claim (excerpt)：
カソード導体とゲート電極間にエミッタを配設し、前記カソード導体とゲート電極間に電圧を印加することにより前記エミッタから電子を放出する電子放出源の製造方法において、絶縁基板にカソード導体を被着する工程と、前記カソード導体にカーボンナノチューブ、フラーレン、ナノパーティクル、ナノカプセル及びカーボンナノホーンの中の少なくとも一つを含むペースト材料を被着してエミッタを形成する工程と、前記エミッタの表面をドライエッチングによりエッチング処理する工程と、前記エミッタから離間する位置にゲート電極を形成する工程とを備えて成ることを特徴とする電子放出源の製造方法。
IPC (3)：
H01J 9/02 ,  H01J 1/304 ,  H01J 31/12
FI (3)：
H01J 9/02 B ,  H01J 31/12 C ,  H01J 1/30 F
F-Term (9)：
5C036EE01 ,  5C036EE19 ,  5C036EF01 ,  5C036EF05 ,  5C036EF06 ,  5C036EF08 ,  5C036EG02 ,  5C036EG12 ,  5C036EH11
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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