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J-GLOBAL ID：200903064653804710

走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
大野 修

About 大野 修


Applicant, Patent owner：
オリンパス光学工業株式会社

About オリンパス光学工業株式会社


Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001157601
Publication number (International publication number)：2002350320
Application date： May. 25, 2001
Publication date： Dec. 04, 2002
Summary：
【要約】【課題】SPM像とこれに比べて低分解能の光学顕微鏡像とを互いに関連づけて評価し得る走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡100は、試料108が載置されるXYステージ110と、SPM像を得るためのSPMユニット120と、光学顕微鏡像を得るための光学顕微鏡ユニット130とを有している。さらに、走査型プローブ顕微鏡100は、装置全体を制御するためのCPU164と、SPM測定領域を指定するための指示入力部166と、試料の画像や種々の情報を表示するための表示部168と、得られる情報を記憶するための記憶部170とを有している。CPU164は、画像情報メモリー172に保存されたSPM像のXY位置情報と、高さ情報メモリー174に保存されたSPM像のZ位置情報とに基づいてSPM像を作成し、光学顕微鏡像のSPM測定領域と関連づける。
Claim (excerpt)：
試料の表面情報を測定する走査型プローブ顕微鏡であって、試料の光学顕微鏡像を取得するための光学顕微鏡ユニットと、試料のSPM像を取得するためのSPMユニットと、光学顕微鏡像の情報とSPM像の情報を記憶するための記憶手段と、光学顕微鏡像の情報とSPM像の情報を表示するための表示手段と、表示手段に表示された光学顕微鏡像の情報上でSPM測定領域を指示する指示手段と、光学顕微鏡像の情報上で指示するSPM測定領域とそのSPM像の情報とを互いに関連づける手段とを備えている、走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4)：
G01N 13/10 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/36 ,  G01B 21/30 101
FI (5)：
G01N 13/10 E ,  G01N 13/10 F ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/36 ,  G01B 21/30 101 Z
F-Term (16)：
2F069AA57 ,  2F069HH30 ,  2F069MM24 ,  2H052AA08 ,  2H052AB04 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AD06 ,  2H052AD19 ,  2H052AF03 ,  2H052AF11 ,  2H052AF13 ,  2H052AF22 ,  2H052AF25
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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