スパッタ装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：飯阪泰雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995195966
Publication number (International publication number)：1997025568
Application date： Jul. 07, 1995
Publication date： Jan. 28, 1997
Summary：

【要約】[目的] スパッタ室を大気解放することなく、ターゲットをバッキングカバーから取り外し、バッキングカバーに固定し得るスパッタ装置を提供すること。[構成] ターゲットTと一体的なバッキングプレート11内に磁性体としての鉄格子板14を埋め込み、バッキングカバー56の大気側に設けられるマグネトロン放電用のマグネット71をバッキングカバー56へ近接させることにより、またはマグネット71をバッキングカバー56から離隔させることにより、真空下のスパッタ室51内においてターゲットTと一体的なバッキングプレート11を磁力でバッキングカバー56に固定し、またはバッキングカバー56から取り外す。

Claim (excerpt)：

スパッタ室のカソードとして作用するバッキングカバーの真空側にターゲットと一体的なバッキングプレートが固定されるスパッタ装置において、前記バッキングカバーの大気側にマグネットが配設され、前記ターゲットが非磁性体ターゲットである場合にはこれと一体的なバッキングプレート内に磁性体が部分的に又は全面的に埋設され、前記ターゲットが磁性体ターゲットである場合にはこれと一体的なバッキングプレート内に前記磁性体は埋設されないままとされており、前記マグネットを前記バッキングカバーに近接させることによって前記非磁性体ターゲットまたは前記磁性体ターゲットと一体的なバッキングプレートが前記バッキングカバーに磁力で真空下に固定され、前記マグネットを前記バッキングカバーから離隔させることによって、前記非磁性体ターゲットまたは前記磁性体ターゲットと一体的なバッキングプレートが前記バッキングカバーから真空下に取り外されることを特徴とするスパッタ装置。

IPC (3)：

C23C 14/34 , C23C 14/00 , C23C 14/56

FI (3)：

C23C 14/34 C , C23C 14/00 B , C23C 14/56 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

マグネトロンスパッタリングカソード
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-116481 Applicant：富士電機株式会社
スパッタ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-019220 Applicant：株式会社日立製作所
特開平2-282474

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