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J-GLOBAL ID：200903066812855146

プラズマを形成するための装置および方法ならびに電極

Inventor：
ヒンドリック・ウィレム・デ・ヴリーズ

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ジャン・バスティアーン・ボウストラ

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ユーゲン・アルデア

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モーリチウス・コーネルス・マリア・ファン・デ・サンデン

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Applicant, Patent owner：
フジ フォト フィルム ビー.ブイ.

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Agent (5)： 志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004235565
Publication number (International publication number)：2005063973
Application date： Aug. 12, 2004
Publication date： Mar. 10, 2005
Summary：
【課題】 大気圧でのグロー放電を可能とし得るよう、表面近傍において十分な量の二次電子が存在しなおかつそれら二次電子がごくわずかなエネルギーでもって放出され得るような構成を提供すること。【解決手段】 プラズマを形成するための装置であって、電界を形成してこの電界内にプラズマを形成し得るよう配置された一対の電極(1,2)の間に位置した放電空間(7)を具備してなり、一方の電極(1)が、放電空間に対しての境界面(6)を有している場合に、境界面(6)が、互いに交互的に配置された導電性領域(4)と絶縁性領域(5)とから構成されている。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
プラズマを形成するための装置であって、 電界を形成してこの電界内にプラズマを形成し得るよう配置された少なくとも一対の電極の間に位置した放電空間を具備してなり、前記電極の少なくとも一方が、前記放電空間に対しての境界面を有している場合に、 前記境界面が、互いに交互的に配置された1つまたは複数の導電性領域と1つまたは複数の絶縁性領域とから構成されていることを特徴とする装置。
IPC (3)：
H05H1/24 ,  B08B6/00 ,  C23C16/509
FI (3)：
H05H1/24 ,  B08B6/00 ,  C23C16/509
F-Term (10)：
3B116AA08 ,  3B116AA46 ,  3B116BC01 ,  3B116CD42 ,  3B116CD43 ,  4K030FA03 ,  4K030JA09 ,  4K030JA18 ,  4K030KA15 ,  4K030KA46
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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