非晶質炭素被膜と非晶質炭素被膜の製造方法および非晶質炭素被膜の被覆部材

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：川瀬茂樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001216724
Publication number (International publication number)：2003027214
Application date： Jul. 17, 2001
Publication date： Jan. 29, 2003
Summary：

【要約】【課題】潤滑油中で低摩擦係数をもち、高い密着性を持ち、高硬度、平滑性、摺動特性などの特性を有する非晶質炭素被膜を提供すること。【解決手段】基材の上に、0.5nm〜30nmの金属層を設けるか、或いは金属層を設けず基板の上に、0.5nm〜300nmの無水素炭素膜Aをスパッタリング、真空アーク蒸着法によって形成し、さらにその上に水素濃度が5〜50at.%、金属濃度が0.01〜35at.%の含水素炭素膜Bを無水素炭素膜Aの2倍〜1000倍の膜厚に形成する。

Claim (excerpt)：

基材Sの上に形成した膜厚0.5nm〜300nmの無水素炭素膜Aと、5at.%〜50at.%の水素と0.01at.%〜35at.%の摩擦係数低減用金属元素を含み膜厚が無水素炭素膜Aの2倍〜1000倍であり無水素炭素膜Aの上に形成された含水素炭素膜Bよりなることを特徴とする非晶質炭素被膜。

IPC (3)：

C23C 14/06 , C01B 31/02 101 , C23C 16/27

FI (5)：

C23C 14/06 F , C23C 14/06 N , C23C 14/06 P , C01B 31/02 101 Z , C23C 16/27

F-Term (29)：

4G046CA02 , 4G046CB03 , 4G046CB08 , 4G046CC06 , 4K029BA01 , 4K029BA03 , 4K029BA06 , 4K029BA07 , 4K029BA08 , 4K029BA09 , 4K029BA11 , 4K029BA12 , 4K029BA13 , 4K029BA16 , 4K029BA17 , 4K029BA34 , 4K029BA55 , 4K029BB02 , 4K029BB10 , 4K029BD04 , 4K029BD05 , 4K029CA03 , 4K029CA05 , 4K029EA01 , 4K030BA28 , 4K030BB05 , 4K030JA01 , 4K030LA22 , 4K030LA23

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

低摩耗性と優れた密着性を有する複合ダイヤモンドライクカーボン皮膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-310437 Applicant：株式会社リケン
特開昭62-277617
特開昭62-183022

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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