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J-GLOBAL ID：200903068779052043

基板上の光スイッチの構造体

Inventor： エリック ピータース ,  マイケル エー ローザ ,  デイビッド ケー フォーク
Applicant, Patent owner： ゼロックス・コーポレーション
Agent (1)： 吉田 研二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001286445
Publication number (International publication number)：2002162577
Application date： Sep. 20, 2001
Publication date： Jun. 07, 2002
Summary：

【要約】【課題】 反射MEMSミラーを用いた光スイッチが求められている。【解決手段】 光クロスコネクトは、一般的な概念として、MEMSチルトミラーの2次元アレイを使用して第1の光ファイバから入射した光を第2の光ファイバに向ける。2次元アレイの各MEMSチルトミラーは、x及びy軸を中心に回転し、基板に取付けられた複数のサスペンションアームによって吊られている。

Claim (excerpt)：

基板と、それぞれが内部応力勾配層を備え、それぞれが第1の端部及び第2の端部を有し、前記第1の端部が前記基板に取付けられた、複数のサスペンションアームと、反射表面層を有し、前記複数のサスペンションアームの前記第2の端部に取付けられたポリシリコン領域と、前記複数のサスペンションアームに隣接して前記基板上に設けられ、前記反射表面層を有する前記ポリシリコン領域が偏向運動するための電界を生成する、複数の電極と、を備える作動可能なミラー構造体。

IPC (2)：

G02B 26/08 ,  B81B 3/00

FI (2)：

G02B 26/08 E ,  B81B 3/00

F-Term (7)：

2H041AA14 ,  2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• マイクロ電気機械的テレビ走査デバイスとその製造法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平7-505283   Applicant：メドカムインコーポレーテッド
• 空間光変調器の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-187099   Applicant：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
• マイクロミラー装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-339970   Applicant：三菱電機株式会社
• マイクロマシン、マイクロアクチュエータ及びマイクロリレー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-333889   Applicant：オムロン株式会社
• ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-167676   Applicant：株式会社東芝
• 光偏向子及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-245996   Applicant：オリンパス光学工業株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• "Lucent Microstar Micromirror Array Technology for Large Optical Crossconnects"
• "Flip-Chip Bonding on 6-um Pitch using Thin-Film Microspring Technology"