ウェハ型温度センサとこれを用いた温度測定装置、温度測定機能を有する熱処理装置および温度測定方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：伊藤英彦 , 森下八郎 , 吉田博由
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005370811
Publication number (International publication number)：2007171047
Application date： Dec. 22, 2005
Publication date： Jul. 05, 2007
Summary：

【課題】電源を供給する必要がなくて自動化に適し、耐熱性を高め、簡単な回路でウェハの温度分布を測定できるウェハ型温度センサとこれを用いた温度測定装置、温度測定機能を有する熱処理装置および温度測定方法を提供する。【解決手段】ウェハ1と、ウェハ1の上面を複数の領域に区分し、区分された各領域に配置された複数の温度センサ2a,2b...とを備えてウェハ型温度センサ10を構成し、各温度センサ2a,2b...は、高周波信号が入力されたことに応じて、各領域ごとに異なる周波数帯域内で対応する領域の温度に基づく周波数信号を送り返す表面弾性波素子を備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ウェハと、前記ウェハ上面を複数の領域に区分し、区分された各領域に配置された複数の温度センサとを備え、前記各温度センサは、高周波信号が入力されたことに応じて、前記各領域ごとに異なる周波数帯域内で対応する領域の温度に基づく周波数信号を送り返す表面弾性波素子を備える、ウェハ型温度センサ。

IPC (5)：

G01K 7/32 , G01K 1/14 , G01K 1/02 , G08C 17/00 , H01L 21/66

FI (5)：

G01K7/32 S , G01K1/14 L , G01K1/02 E , G08C17/00 A , H01L21/66 T

F-Term (26)：

2F056AE03 , 2F056AE05 , 2F056AE07 , 2F056CL01 , 2F056CL12 , 2F073AA02 , 2F073AB01 , 2F073AB02 , 2F073AB12 , 2F073BB01 , 2F073BC02 , 2F073CC02 , 2F073CC11 , 2F073CD04 , 2F073DD02 , 2F073DE11 , 2F073EE12 , 2F073FF01 , 2F073FG01 , 2F073GG01 , 2F073GG04 , 2F073GG05 , 4M106AA01 , 4M106CA31 , 4M106DH14 , 4M106DH18

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

温度測定装置及び温度測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-317760 Applicant：東京エレクトロン株式会社
ワイヤレス温度計測モジュール
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-314072 Applicant：三菱マテリアル株式会社

Cited by examiner (12)

ワイヤレス温度計測モジュール
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-314072 Applicant：三菱マテリアル株式会社
温度測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-242213 Applicant：九州日本電気株式会社
非接触温度測定装置および非接触温度測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-367070 Applicant：株式会社山武

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