Pat
J-GLOBAL ID:200903080513320115
表面性状評価装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
青山 葆 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001212134
Publication number (International publication number):2003028805
Application date: Jul. 12, 2001
Publication date: Jan. 29, 2003
Summary:
【要約】【課題】 移動方向及び幅方向の撮像範囲、角度情報数、画像の取り込み速度、被測定物の移動速度をそれぞれ独立して構成することができる表面性状評価装置を提供する。【解決手段】 被測定物の移動方向に対して略垂直に配置され前記被測定物に照射された光の反射光を検出する一次元撮像手段15と、前記被測定物に対する入射角度がそれぞれ異なるように配置された前記被測定物の表面を照射する複数の照明手段11〜14と、前記被測定物を照射する前記照明手段を時経列的に切り換える照明制御手段16と、前記照明制御手段によって切り換えられ前記被測定物を照射する前記照明手段と前記一次元撮像手段との位置関係から照明光の入射角の変化に対する前記被測定物表面の反射特性に相当する評価値を算出する評価値算出手段17、18とを有する。
Claim (excerpt):
被測定物の移動方向に対して略垂直に配置され前記被測定物に照射された光の反射光を検出する一次元撮像手段と、前記被測定物に対する入射角度がそれぞれ異なるように配置された前記被測定物の表面を照射する複数の照明手段と、前記被測定物を照射する前記照明手段を時経列的に切り換える照明制御手段と、前記照明制御手段によって切り換えられ前記被測定物を照射する前記照明手段と前記一次元撮像手段との位置関係から照明光の入射角の変化に対する前記被測定物表面の反射特性に相当する評価値を算出する評価値算出手段とを有することを特徴とする表面性状評価装置。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (23):
2G020AA08
, 2G020DA03
, 2G020DA05
, 2G020DA06
, 2G020DA13
, 2G020DA22
, 2G020DA45
, 2G051AA34
, 2G051AA40
, 2G051AB12
, 2G051BA01
, 2G051BC01
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051DA01
, 2G051DA06
, 2G051EA17
, 2G051EB01
, 2G051EB02
, 2G051EC03
, 2G051ED07
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (11)
-
凹凸測定用照明装置、凹凸測定装置、欠陥検査用照明装置、欠陥検査装置およびその照明方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-126087
Applicant:東芝エンジニアリング株式会社
-
外観検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-178418
Applicant:株式会社神戸製鋼所
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印刷紙面等の内容読取センサ及び印刷紙面検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-105830
Applicant:日本ボールドウィン株式会社
-
光学式鋼板表面検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-008958
Applicant:新日本製鐵株式会社
-
表面検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-143530
Applicant:住友金属工業株式会社
-
表面検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-232954
Applicant:日産自動車株式会社
-
表面欠陥検査装置,表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査用のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-100446
Applicant:スズキ株式会社
-
特開昭62-042039
-
表面検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-375029
Applicant:日本エレクトロセンサリデバイス株式会社, 古河電気工業株式会社
-
マウント検査部における照明装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-336527
Applicant:澁谷工業株式会社
-
特開昭63-261144
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Cited by examiner (13)
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Applicant:東芝エンジニアリング株式会社
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特開昭62-042039
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Applicant:日本エレクトロセンサリデバイス株式会社, 古河電気工業株式会社
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Applicant:澁谷工業株式会社
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特開昭63-261144
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