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J-GLOBAL ID:200903080513320115

表面性状評価装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 青山 葆 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001212134
Publication number (International publication number):2003028805
Application date: Jul. 12, 2001
Publication date: Jan. 29, 2003
Summary:
【要約】【課題】 移動方向及び幅方向の撮像範囲、角度情報数、画像の取り込み速度、被測定物の移動速度をそれぞれ独立して構成することができる表面性状評価装置を提供する。【解決手段】 被測定物の移動方向に対して略垂直に配置され前記被測定物に照射された光の反射光を検出する一次元撮像手段15と、前記被測定物に対する入射角度がそれぞれ異なるように配置された前記被測定物の表面を照射する複数の照明手段11〜14と、前記被測定物を照射する前記照明手段を時経列的に切り換える照明制御手段16と、前記照明制御手段によって切り換えられ前記被測定物を照射する前記照明手段と前記一次元撮像手段との位置関係から照明光の入射角の変化に対する前記被測定物表面の反射特性に相当する評価値を算出する評価値算出手段17、18とを有する。
Claim (excerpt):
被測定物の移動方向に対して略垂直に配置され前記被測定物に照射された光の反射光を検出する一次元撮像手段と、前記被測定物に対する入射角度がそれぞれ異なるように配置された前記被測定物の表面を照射する複数の照明手段と、前記被測定物を照射する前記照明手段を時経列的に切り換える照明制御手段と、前記照明制御手段によって切り換えられ前記被測定物を照射する前記照明手段と前記一次元撮像手段との位置関係から照明光の入射角の変化に対する前記被測定物表面の反射特性に相当する評価値を算出する評価値算出手段とを有することを特徴とする表面性状評価装置。
IPC (2):
G01N 21/84 ,  G01J 3/50
FI (2):
G01N 21/84 Z ,  G01J 3/50
F-Term (23):
2G020AA08 ,  2G020DA03 ,  2G020DA05 ,  2G020DA06 ,  2G020DA13 ,  2G020DA22 ,  2G020DA45 ,  2G051AA34 ,  2G051AA40 ,  2G051AB12 ,  2G051BA01 ,  2G051BC01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA17 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC03 ,  2G051ED07
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (11)
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Cited by examiner (13)
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