液晶ディスプレイ用電極配線及びその形成方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：泉名謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996200745
Publication number (International publication number)：1998048650
Application date： Jul. 30, 1996
Publication date： Feb. 20, 1998
Summary：

【要約】【課題】低比抵抗でしかも、耐久性に優れ、かつ、形成が容易な液晶ディスプレイ用電極配線及びその形成方法を提供する。【解決手段】酸化物層と金属層とが2n+1(nは1以上の整数)で積層され、かつ、各酸化物層には酸化亜鉛を主成分とする膜を少なくとも1層含み、各金属層には銀を主成分とする膜を少なくとも1層含む透明導電膜を、ソース電極7、かつドレイン電極8、かつ画素電極8として用いる薄膜トランジスタ型液晶ディスプレイ用電極配線及びその形成方法。

Claim (excerpt)：

酸化物層と金属層とが2n+1(nは1以上の整数)で積層され、かつ、各酸化物層には酸化亜鉛を主成分とする膜を少なくとも1層含み、各金属層には銀を主成分とする膜を少なくとも1層含む透明導電膜を薄膜トランジスタ型液晶ディスプレイのソース電極、かつドレイン電極、かつ画素電極として用いることを特徴とする液晶ディスプレイ用電極配線。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

特開平4-340522
特開平4-337208
液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-152914 Applicant：ダイセル化学工業株式会社

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