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J-GLOBAL ID:200903081303583039

光表面特性の測角検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4): 志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2008030971
Publication number (International publication number):2008164628
Application date: Feb. 12, 2008
Publication date: Jul. 17, 2008
Summary:
【課題】 一方で、例えば僅かに異なる立体角の下で塗装部を種々に眺めることによって生じるそのような変化を分離することができるが、他方で、互いに著しくずれている角度で観察することもできるようにする。【解決手段】 少なくとも一つの所定の第一立体角にして検査すべき表面に放射する少なくとも一つの第一照射装置と、輻射を位置分解して検出することができ、少なくとも一つの所定の第二立体角にして前記表面に対して配置されていて、前記表面に照射され、この表面から戻って来る輻射を捕捉する少なくとも一つの第一検出装置と、を備えた、光表面特性を検査する装置において、前記照射装置および/または前記検出装置を配置している状態の少なくとも一つの立体角が可変できるようになっており、前記照射装置と前記検出装置が少なくとも一部光反射特性を保有する一つの空間の中に配置されている、ことを特徴とする装置。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
少なくとも一つの所定の第一立体角にして検査すべき表面に放射する少なくとも一つの 第一照射装置と、 輻射を位置分解して検出することができ、少なくとも一つの所定の第二立体角にして前 記表面に対して配置されていて、前記表面に照射され、この表面から戻って来る輻射を捕 捉する少なくとも一つの第一検出装置と、 を備えた、光表面特性を検査する装置において、 前記照射装置および/または前記検出装置を配置している状態の少なくとも一つの立体 角が可変できるようになっており、 前記照射装置と前記検出装置が少なくとも一部光反射特性を保有する一つの空間の中に 配置されている、 ことを特徴とする装置。
IPC (3):
G01N 21/88 ,  G01N 21/27 ,  G01J 3/46
FI (3):
G01N21/88 Z ,  G01N21/27 B ,  G01J3/46 Z
F-Term (43):
2G020AA08 ,  2G020DA02 ,  2G020DA04 ,  2G020DA12 ,  2G020DA22 ,  2G020DA31 ,  2G020DA35 ,  2G020DA36 ,  2G020DA45 ,  2G020DA52 ,  2G051AA89 ,  2G051AB12 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051BB01 ,  2G051BB09 ,  2G051BB15 ,  2G051BB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051CC11 ,  2G051EA17 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059BB15 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059EE13 ,  2G059GG02 ,  2G059GG03 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ07 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ26 ,  2G059KK01 ,  2G059KK03 ,  2G059KK04 ,  2G059PP04
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (17)
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