軟X線光源装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：細江利昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998279699
Publication number (International publication number)：2000111699
Application date： Oct. 01, 1998
Publication date： Apr. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】大きな軟X線光量を容易に得ることができる軟X線発生装置及びこれを用いた軟X線縮小投影露光装置を提供する。【解決手段】真空容器1の内部にクリプトンガスを噴出するノズル2が配置され、ガス導入管3から高圧のクリプトンガスが供給されている。ファイバーアンプの出力端である100本の光ファイバー4を束ねた光ファイバー群5から出射した出射光6が、レンズ7、励起レーザー光導入窓8を介して、ノズル2の先端から噴出したクリプトンガスに集光されている。これにより、クリプトンガスは励起され、そこから軟X線10が発生する。この軟X線10は、多層膜回転放物面鏡11で反射され、軟X線平行光束12となって外部に放出される。ファイバーアンプからの光を励起光として用い、しかも、多数の光ファイバーを束ねて光源としているので、大きな軟X線光量を容易に得ることができる。

Claim (excerpt)：

排気装置により減圧が可能な容器内に供給される標的材に、励起エネルギービームを照射して標的材をプラズマ化し、当該プラズマから軟X線を放射させる軟X線光源装置であって、複数のファイバーレーザー又はファイバーアンプからの出射光を励起エネルギービームとし、これら複数の光ファイバーから出射する出射光を標的材の略同一位置に照射することによってプラズマを発生させることを特徴とする軟X線発生装置。

IPC (3)：

G21K 5/02 , H01L 21/027 , H05G 2/00

FI (3)：

G21K 5/02 X , H01L 21/30 531 , H05G 1/00 K

F-Term (8)：

4C092AA06 , 4C092AA07 , 4C092AA14 , 4C092AB21 , 4C092AB27 , 5F046GB01 , 5F046GB07 , 5F046GC03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

X線発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-020782 Applicant：株式会社ニコン
レーザー光源および照明光学装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-056593 Applicant：株式会社ニコン
X線リソグラフィー装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-269912 Applicant：理化学研究所

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