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J-GLOBAL ID：200903083932296460

容量式湿度センサ

Inventor： 与倉 久則 ,  豊田 稲男
Applicant, Patent owner： 株式会社デンソー
Agent (1)： 矢作 和行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003065723
Publication number (International publication number)：2004271461
Application date： Mar. 11, 2003
Publication date： Sep. 30, 2004
Summary：

【課題】感湿膜の面積を増加させることなく、効果的に湿度変化に伴う電極間の静電容量の変化量を増加させることができる容量式湿度センサを提供する。【解決手段】半導体基板10の同一平面に、一対の櫛歯型電極31、32を形成し、その一対の櫛歯型電極31、32を覆うように、シリコン窒化膜40からなる保護膜およびポリイミド系ポリマーからなる感湿膜50を形成する。さらに、感湿膜50の上に、感湿膜50より比誘電率が高く、透湿性の透湿膜60を形成する。このような透湿膜60を感湿膜50上に形成することにより、感湿膜50における湿度変化に伴って変化する一対の櫛歯型電極31、32間の静電容量の変化量を増加させることができる。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

基板と、 前記基板上の同一平面に、所定の間隔を隔てて配置された第1および第2の電極と、 前記基板上において、少なくとも前記第1および第2の電極の間における領域に対応して形成され、湿度に応じて誘電率が変化する感湿膜と、 前記感湿膜上において、前記第1および第2の電極の間における領域の少なくとも一部に対応して形成され、前記感湿膜より比誘電率が高く、水分を透過させる透湿膜とを備えた容量式湿度センサ。

IPC (1)：

G01N27/22

FI (1)：

G01N27/22 A

F-Term (9)：

2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF11 ,  2G060AG08 ,  2G060AG09 ,  2G060BA03 ,  2G060BB01 ,  2G060BB09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平4-184160
  
• 特開昭62-216963
  
• 容量式湿度センサおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-039001   Applicant：株式会社デンソー
• 半導体装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-134588   Applicant：株式会社東芝
• 湿度センサおよびその製法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-283225   Applicant：タバイエスペック株式会社