分子結合剤によってキャリヤ基板に結合された圧電材料の薄層中で案内される表面弾性波のためのデバイスおよび製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山本恵一
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000592934
Publication number (International publication number)：2002534886
Application date： Dec. 21, 1999
Publication date： Oct. 15, 2002
Summary：

【要約】本発明は、圧電材料の薄層と分子結合剤の層とキャリヤ基板とを含む表面弾性波デバイスに関する。薄層は、デバイスの性能特性を増大させる音響エネルギーガイドを構成する。本発明はまた、特に、キャリヤ基板と圧電基板の間での分子結合のステップ、次いで圧電基板の厚さを縮小するためのステップを含む、弾性波デバイスを製造するための方法に関する。

Claim (excerpt)：

表面弾性波を生成する手段と、弾性波がその中で案内される圧電材料の薄層とを含む表面弾性波デバイスであって、キャリヤ基板と、圧電材料の薄層がそれによってキャリヤ基板に結合される分子結合剤の層とを含むことを特徴とする表面弾性波デバイス。

IPC (5)：

H03H 9/25 , H01L 41/09 , H01L 41/18 , H01L 41/22 , H03H 3/08

FI (7)：

H03H 9/25 C , H03H 9/25 A , H03H 3/08 , H01L 41/08 U , H01L 41/08 C , H01L 41/18 101 A , H01L 41/22 Z

F-Term (7)：

5J097AA29 , 5J097EE10 , 5J097FF02 , 5J097FF05 , 5J097FF07 , 5J097HA03 , 5J097KK09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

表面弾性波素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-071586 Applicant：松下電器産業株式会社
弾性境界波デバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-237877 Applicant：株式会社東芝, 山口正恆, 橋本研也
薄膜表面弾性波フィルタ,及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-260488 Applicant：三菱電機株式会社

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