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J-GLOBAL ID：200903085099929473

重合体湿粉の製造方法、重合体湿粉、重合体粉末およびレジスト組成物

Inventor：
中村 雅

About 中村 雅

, 
脇阪 幸也

About 脇阪 幸也


Applicant, Patent owner：
三菱レイヨン株式会社

About 三菱レイヨン株式会社


Agent (7)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006228902
Publication number (International publication number)：2008050483
Application date： Aug. 25, 2006
Publication date： Mar. 06, 2008
Summary：
【課題】溶媒への溶解性のよい重合体粉末、溶媒への溶解性のよい重合体湿粉およびその製造方法、並びにレジストパターンにおけるディフェクトの発生を抑えることができるレジスト組成物を提供する。【解決手段】重合体が分散媒に分散した分散液をろ過して、重合体湿粉を製造する工程と、製造された重合体湿粉を保管する工程とを有する重合体湿粉の製造方法であって、気温が常に35°C以下となるように管理された環境下で重合体湿粉を保管する、重合体湿粉の製造方法;該製造方法によって得られた重合体湿粉;該製造方法によって得られた重合体湿粉を乾燥して得られた重合体粉末;および、該重合体湿粉から得られるレジスト組成物。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
重合体が分散媒に分散した分散液をろ過して、重合体湿粉を製造する工程と、 製造された重合体湿粉を保管する工程とを有する重合体湿粉の製造方法であって、 気温が常に35°C以下となるように管理された環境下で重合体湿粉を保管する、重合体湿粉の製造方法。
IPC (5)：
C08F 6/00 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027 ,  C08G 63/88 ,  C08F 220/26
FI (5)：
C08F6/00 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R ,  C08G63/88 ,  C08F220/26
F-Term (44)：
2H025AA04 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BF02 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ01 ,  2H025BJ10 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J029AA01 ,  4J029AB07 ,  4J029KH04 ,  4J029KH06 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA11Q ,  4J100BA15P ,  4J100BA40R ,  4J100BC03P ,  4J100BC04P ,  4J100BC04R ,  4J100BC08P ,  4J100BC08R ,  4J100BC09P ,  4J100BC09R ,  4J100BC12P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC58Q ,  4J100CA05 ,  4J100DA25 ,  4J100EA06 ,  4J100FA19 ,  4J100GC00 ,  4J100GC07 ,  4J100GC25 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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