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J-GLOBAL ID：200903086291275874

表面検査装置および方法

Inventor：
榊原 正人

About 榊原 正人


Applicant, Patent owner：
トヨタ自動車株式会社

About トヨタ自動車株式会社


Agent (2)： 吉田 研二 ,  石田 純
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003106842
Publication number (International publication number)：2004309439
Application date： Apr. 10, 2003
Publication date： Nov. 04, 2004
Summary：
【課題】表面検査において低輝度の異物と欠陥とを区別して欠陥のみを検出する。【解決手段】被検査面に明暗パターンの光を照射した状態で被検査面を撮像し(S1)、撮像データの輝度値を微分することにより明部と暗部の境界部分を抽出した抽出画像を取得する(S3)。抽出画像を2つの異なる閾値L1、L2で二値化する。L1は、少なくとも欠陥に起因する輝度値の微分値より小さい値であり、L2はそれより大きい値とする。そして、得られた2つの画像のうち、異なる輝度値の部分のみを欠陥として検出する(S8)。【選択図】 図5
Claim (excerpt)：
被検査面上の欠陥を検出する表面検査装置において、 被検査面に明暗パターンの光を照射する照射手段と、 明暗パターン光が照射された被検査面を撮像する撮像手段と、 撮像データのうち、明部と暗部の境界部分を抽出した抽出画像を取得する抽出画像取得手段と、 欠陥に起因しない境界部分のみを抽出した第1画像を取得する第1画像取得手段と、 欠陥に起因しない境界部分と欠陥に起因する境界部分とを抽出した第2画像を取得する第2画像取得手段と、 第1画像と第2画像とのいずれかのみで抽出された境界部分を欠陥として検出する欠陥検出手段と、 を有する表面検査装置。
IPC (1)：
G01N21/89
FI (1)：
G01N21/89 Z
F-Term (14)：
2G051AA89 ,  2G051AB02 ,  2G051AB12 ,  2G051BB07 ,  2G051CA04 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051ED03 ,  2G051ED04 ,  2G051ED08 ,  2G051ED11 ,  2G051ED21
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (10)
  • 表面欠陥検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-165486   Applicant：日産自動車株式会社
  • 特開平2-108167
  • 欠陥検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-103544   Applicant：富士写真フイルム株式会社
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Cited by examiner (10)
  • 表面欠陥検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-165486   Applicant：日産自動車株式会社
  • 特開平2-108167
  • 欠陥検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-103544   Applicant：富士写真フイルム株式会社
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