EL素子、及び有機薄膜表面へのカソード電極膜の形成方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石島茂男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996312675
Publication number (International publication number)：1998144475
Application date： Nov. 08, 1996
Publication date： May. 29, 1998
Summary：

【要約】【課題】両面発光EL素子を製造できる技術を提供する。【解決手段】 EL素子2のカソード電極膜16を形成する際、透明な基体10上に有機薄膜12、13を形成した後、大気に曝さずに、スパッタリング法によって金属薄膜14を200nm〜1000nmの膜厚に形成し、次いで、その表面に透明導電膜15を形成し、金属薄膜14と透明導電膜15とでカソード電極膜16を構成させる。両面発光のEL素子2を得ることができる。金属薄膜14のスパッタリングは、ヘリカルカソードを用い、ターゲットとの距離を200mm以上にし、1.33×10-2Pa以下の圧力で行うとよい。

Claim (excerpt)：

基体と、該基体上に形成された有機薄膜と、前記有機薄膜表面に形成されたカソード電極膜とを有するEL素子であって、前記カソード電極膜は、金属薄膜と、該金属膜上に形成された透明導電膜とを有し、前記金属薄膜はスパッタリング法を用い、前記有機薄膜表面上に光を遮蔽しない膜厚で形成されていることを特徴とするEL素子。

IPC (2)：

H05B 33/28 , H05B 33/10

FI (2)：

H05B 33/28 , H05B 33/10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

有機EL発光素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-299745 Applicant：ティーディーケイ株式会社
有機発光ダイオード構造中の光学的に透明な拡散バリアおよび上部電極
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-242246 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
有機エレクトロルミネッセンス素子及びその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-072448 Applicant：日本電信電話株式会社

Show all

Return to Previous Page