限外濾過フィルタの使用方法、及び限外濾過フィルタ再生機構付ウェット現像装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005050085
Publication number (International publication number)：2006231212
Application date： Feb. 25, 2005
Publication date： Sep. 07, 2006
Summary：

【課題】経時的なフィルタの詰まりを起こさず、特別なメンテナンス無しでも安定した濾液量を確保する限外濾過フィルタの使用方法、限外濾過フィルタ再生機構付ウェット現像装置を提供すること。【解決手段】薬液によりフィルタ膜表面を改質する、限外濾過フィルタ再生機構を具備したウェット現像装置を用い、薬液によるフィルタ再生を行う。装着前に、限外濾過フィルタ7を薬液に浸漬させフィルタ処理を行う。薬液が、酸化剤水溶液、アルカリ水溶液、又は両者の混合液である。また、薬液供給系、薬液排出系、濾液側排出系で構成される限外濾過フィルタ再生機構を具備する。薬液通過径路純水供給バルブ33を設ける。薬液通過径路エアー供給バルブ29を設ける。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

ウェット現像装置に限外濾過フィルタを装着して現像液を濾過する限外濾過フィルタの使用方法において、予め薬液によりフィルタ膜表面を改質することを特徴とする限外濾過フィルタの使用方法。

IPC (7)：

B01D 61/20 , B01D 65/00 , B01D 65/06 , C02F 1/44 , G02B 5/20 , G03F 7/30 , H01L 21/027

FI (7)：

B01D61/20 , B01D65/00 , B01D65/06 , C02F1/44 K , G02B5/20 101 , G03F7/30 501 , H01L21/30 569F

F-Term (26)：

2H048BA02 , 2H048BA11 , 2H048BA45 , 2H048BA48 , 2H048BB02 , 2H048BB42 , 2H096AA27 , 2H096AA28 , 2H096BA01 , 2H096BA09 , 2H096GA23 , 2H096GA30 , 4D006GA06 , 4D006HA01 , 4D006KA47 , 4D006KA67 , 4D006KA82 , 4D006KC27 , 4D006KD01 , 4D006KD17 , 4D006KD24 , 4D006PA01 , 4D006PB20 , 4D006PC80 , 5F046LA03 , 5F046LA14

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

特願2003-367017

Cited by examiner (11)

フォトレジスト現像液及び膜剥し液を回収するための装置及び方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2000-549350 Applicant：フィーナンク・コーポレイション
微多孔膜及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-175705 Applicant：旭化成株式会社
特開昭63-172745

Show all

Return to Previous Page