ネガ型感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：福沢俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996178670
Publication number (International publication number)：1998010733
Application date： Jun. 20, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：

【要約】【目的】高解像度で矩形のパターンを形成することができ、しかも感度、現像性、寸法忠実度等に優れた化学増幅型ネガ型レジストとして好適なネガ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】感放射線性樹脂組成物は、(イ)ヒドロキシスチレン単位の含有率が70〜95モル%であるヒドロキシスチレン/(α-メチル)スチレン共重合体を含有するアルカリ可溶性樹脂、(ロ)感放射線性酸発生剤、(ハ)架橋剤を含有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

(イ)ヒドロキシスチレン単位の含有率が70〜95モル%であるヒドロキシスチレン/スチレン共重合体およびヒドロキシスチレン/α-メチルスチレン共重合体から選ばれる少なくとも1種の共重合体を含有するアルカリ可溶性樹脂、(ロ)感放射線性酸発生剤および(ハ)架橋剤を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/038 505 , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

ネガ型フォトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-221374 Applicant：住友化学工業株式会社
化学増幅型感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-291521 Applicant：日本合成ゴム株式会社
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-121845 Applicant：日本合成ゴム株式会社

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