ガスセンサチップ及びその製造方法

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：北村修一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005100079
Publication number (International publication number)：2005315874
Application date： Mar. 30, 2005
Publication date： Nov. 10, 2005
Summary：

【課題】ガス検知感度が良好なガスセンサチップ、及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板11の一方の面に電極12,13を設け、基板11の一方の面と電極12,13の表面とにセラミックスの被覆層14を形成したガスセンサチップであって、セラミックスの粒子径を8〜30nmとし、また、その製造方法として、基板11の一方の面に電極12,13を設ける工程と、基板11の一方の面及び電極12,13の表面に液相析出法によるセラミックスの被覆層14を形成する工程とを含むものとする。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

基板の一方の面に電極を設け、前記基板の一方の面と前記電極の表面とにセラミックスの被覆層を形成したガスセンサチップであって、前記セラミックスの粒子径が8〜30nmであるガスセンサチップ。

IPC (1)：

G01N27/12

FI (2)：

G01N27/12 C , G01N27/12 M

F-Term (21)：

2G046AA02 , 2G046AA11 , 2G046AA13 , 2G046AA18 , 2G046AA19 , 2G046BA01 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BC04 , 2G046BC08 , 2G046BE03 , 2G046EA02 , 2G046EA04 , 2G046EA09 , 2G046EA11 , 2G046FB02 , 2G046FC01 , 2G046FE15 , 2G046FE39 , 2G046FE46 , 2G046FE48

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-341856 Applicant：フイガロ技研株式会社
感湿素子、その製法およびそれを用いた感湿装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-353699 Applicant：株式会社リコー

Cited by examiner (6)

半導体式ガス検知素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-068384 Applicant：新コスモス電機株式会社
水素ガス検出素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-135345 Applicant：日本特殊陶業株式会社
基板型半導体式ガスセンサ及びガス検出器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-048393 Applicant：新コスモス電機株式会社

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