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J-GLOBAL ID：200903089053553571

アルカリ現像型光硬化性組成物及びそれを用いて得られる焼成物パターン

Inventor：
東海 裕之

About 東海 裕之

, 
福島 和信

About 福島 和信


Applicant, Patent owner：
太陽インキ製造株式会社

About 太陽インキ製造株式会社


Agent (1)： ▲吉▼田 繁喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998063905
Publication number (International publication number)：1999249303
Application date： Mar. 02, 1998
Publication date： Sep. 17, 1999
Summary：
【要約】【課題】 焼成後のパターンエッジのカールや線幅収縮等の問題もなく、フォトリソグラフィー技術により容易に高精細の導電パターン、ガラス質誘電体パターン、蛍光体パターンなどの焼成物パターンを形成できるアルカリ現像型の光硬化性組成物及びそれにより得られる焼成物パターンを提供する。【解決手段】 組成物は、(A)エポキシ化合物(a)に不飽和モノカルボン酸(b)を反応させ、生成した2級の水酸基に多塩基酸無水物(c)を反応させて得られる活性エネルギー線硬化性樹脂、(B)無機粉体、(C)光重合開始剤、(D)反応性希釈剤、(E)安定剤及び(F)溶剤を含有する。別の態様においては、上記各成分に加えてさらに(G)アクリル系共重合樹脂を含有する。このような光硬化性組成物を基板上に塗布した後、所定のパターン通りに露光し、アルカリ水溶液により現像した後、焼成することにより、高精細の焼成物パターンを形成できる。
Claim (excerpt)：
(A)エポキシ化合物(a)と不飽和モノカルボン酸(b)を反応させ、生成した2級の水酸基に多塩基酸無水物(c)を反応させて得られる活性エネルギー線硬化性樹脂、(B)無機粉体、(C)光重合開始剤、(D)反応性希釈剤、(E)安定剤、及び(F)溶剤を含有することを特徴とするアルカリ現像型光硬化性組成物。
IPC (15)：
G03F 7/027 515 ,  C08F 2/48 ,  C08F290/06 ,  C09D 4/00 ,  C09D 5/00 ,  C09D 5/24 ,  C09D163/10 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 502 ,  H01B 1/22 ,  H01B 3/00 ,  H01B 3/08 ,  H01J 9/20 ,  H01J 9/227 ,  H01J 17/49
FI (15)：
G03F 7/027 515 ,  C08F 2/48 ,  C08F290/06 ,  C09D 4/00 ,  C09D 5/00 C ,  C09D 5/24 ,  C09D163/10 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 502 ,  H01B 1/22 A ,  H01B 3/00 F ,  H01B 3/08 A ,  H01J 9/20 A ,  H01J 9/227 F ,  H01J 17/49 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
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Cited by examiner (17)
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