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J-GLOBAL ID：200903089129549773

結晶性半導体膜の作製方法、該結晶性半導体膜を有する薄膜トランジスタの作製方法、該結晶性半導体膜を有する半導体装置の作製方法

Inventor：
荒井 康行

About 荒井 康行

, 
舘村 祐子

About 舘村 祐子


Applicant, Patent owner：
株式会社半導体エネルギー研究所

About 株式会社半導体エネルギー研究所


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003305523
Publication number (International publication number)：2005079209
Application date： Aug. 28, 2003
Publication date： Mar. 24, 2005
Summary：
【課題】 本発明は、結晶粒や結晶粒界の位置制御を行う結晶性半導体膜の新たな作製方法を提供することを課題とする。特に結晶粒の配向性が制御された結晶性半導体膜の作製方法を提供することを課題とする。【解決手段】 絶縁膜に形成される開口部の形成位置を制御し、開口部の底面に非晶質半導体膜の金属元素を形成し、開口部及び絶縁膜を覆うように非晶質半導体膜を形成し、金属元素により非晶質半導体膜の結晶化が早くなる、つまり低温で結晶化が開始する領域を種結晶領域として結晶性半導体膜を制御して形成することを特徴とする。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
選択的に結晶化を促進する金属元素を形成し、 前記結晶化を促進する金属元素を覆って、非晶質半導体膜を形成し、 前記非晶質半導体膜を加熱することにより、結晶性半導体膜を形成することを特徴とする結晶性半導体膜の作製方法。
IPC (4)：
H01L21/20 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786 ,  H05B33/14
FI (4)：
H01L21/20 ,  H05B33/14 A ,  H01L29/78 627G ,  H01L29/78 627Z
F-Term (78)：
3K007AB17 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007GA00 ,  5F052AA02 ,  5F052AA11 ,  5F052AA17 ,  5F052AA24 ,  5F052BA07 ,  5F052BB01 ,  5F052BB02 ,  5F052BB04 ,  5F052BB07 ,  5F052DA01 ,  5F052DA02 ,  5F052DA03 ,  5F052DB02 ,  5F052DB03 ,  5F052DB07 ,  5F052FA01 ,  5F052GA02 ,  5F052GB03 ,  5F052GB05 ,  5F052JA01 ,  5F110AA01 ,  5F110AA30 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE01 ,  5F110EE04 ,  5F110EE09 ,  5F110EE14 ,  5F110EE45 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110FF31 ,  5F110FF32 ,  5F110FF35 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG16 ,  5F110GG23 ,  5F110GG25 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110GG47 ,  5F110HJ01 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110NN02 ,  5F110NN27 ,  5F110NN71 ,  5F110NN73 ,  5F110NN78 ,  5F110PP01 ,  5F110PP02 ,  5F110PP03 ,  5F110PP05 ,  5F110PP06 ,  5F110PP10 ,  5F110PP23 ,  5F110PP24 ,  5F110PP29 ,  5F110PP34 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ28
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (10)
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