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J-GLOBAL ID:200903091229663136

パッケージ基板及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 田下 明人 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999269139
Publication number (International publication number):2001094007
Application date: Sep. 22, 1999
Publication date: Apr. 06, 2001
Summary:
【要約】【課題】 配線密度を高めたパッケージ基板及びその製造方法を提供する。【解決手段】 ICチップへの接続端子の開口71Uをエキシマレーザで形成するため、当該端子に相当する通孔78aを備えるマスク70を用いることで、微細な開口71Uを狭ピッチで正確に形成することができる。一方、ドータボードへの接続端子の開口71Dを炭酸ガスレーザで形成するため、大径の開口71Dを容易に形成することができる。
Claim (excerpt):
上面にICチップへ接続するための端子を備え、下面に外部接続基板へ接続するための端子を備え、上面及び下面にソルダーレジスト層を配設したパッケージ基板であって、前記上面側のソルダーレジスト層に、前記端子を露出させるためのエキシマレーザによる開口を形成し、前記下面側のソルダーレジスト層に、前記端子を露出させるための炭酸ガスレーザによる開口を形成したことを特徴とするパッケージ基板。
IPC (5):
H01L 23/12 ,  B23K 26/00 330 ,  B23K 26/06 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/46
FI (5):
B23K 26/00 330 ,  B23K 26/06 J ,  H05K 3/00 N ,  H05K 3/46 X ,  H01L 23/12 K
F-Term (16):
4E068AF01 ,  4E068CD10 ,  4E068DA11 ,  5E346AA12 ,  5E346AA15 ,  5E346AA17 ,  5E346BB01 ,  5E346BB16 ,  5E346CC08 ,  5E346EE31 ,  5E346EE38 ,  5E346GG02 ,  5E346GG15 ,  5E346GG27 ,  5E346HH25 ,  5E346HH26
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (6)
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