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J-GLOBAL ID：200903092897524128

電子線照射装置

Inventor： 平川 哲也 ,  佐藤 洋一 ,  越智 雅文
Applicant, Patent owner： 岩崎電気株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000207983
Publication number (International publication number)：2002022899
Application date： Jul. 10, 2000
Publication date： Jan. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】 加速管内で不用な放電を発生させず、長寿命で、被処理物に対して電子線をより均一に照射することができ、電源がコンパクトで、製作の容易な電子線照射装置を提供する。【解決手段】 電子源とガングリッドとを有するガン構造体と、同ガン構造体を内蔵し電子を通過させる高電圧ターミナルとを具備し、同高電圧ターミナルを通過した電子を、電子線照射窓を通して照射空間に放出させる電子線照射装置において、前記電子源に電界放出素子を用いたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

電子源とガングリッドとを有するガン構造体と、同ガン構造体を内蔵し電子を通過させる高電圧ターミナルとを具備し、同高電圧ターミナルを通過した電子を、電子線照射窓を通して照射空間に放出させる電子線照射装置において、前記電子源に電界放出素子を用いたことを特徴とする電子線照射装置。

IPC (4)：

G21K 5/04 ,  B01J 19/08 ,  G21K 1/00 ,  H01J 1/304

FI (4)：

G21K 5/04 F ,  B01J 19/08 Z ,  G21K 1/00 E ,  H01J 1/30 F

F-Term (8)：

4G075AA01 ,  4G075BA05 ,  4G075CA39 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EB31 ,  4G075FB03 ,  4G075FC11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• 電子線照射装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-125519   Applicant：日新ハイボルテージ株式会社
• 電極、及びその電極を有する表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-089364   Applicant：日本真空技術株式会社
• 電子銃
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-271625   Applicant：伊勢電子工業株式会社
• 電子源
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-089896   Applicant：日新ハイボルテージ株式会社
• 電子放出素子及び電子放出源とそれらの製造方法並びにそれらを使用した画像表示装置及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-173309   Applicant：松下電器産業株式会社
• 炭素系超微細冷陰極及びその作製方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-301259   Applicant：日本真空技術株式会社
• 電界放出陰極、電子放出素子および電界放出陰極の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-255519   Applicant：株式会社東芝