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J-GLOBAL ID:200903093338452792

パワー半導体構成素子及びその作製方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 矢野 敏雄 (外3名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):1999501403
Publication number (International publication number):2002508888
Application date: May. 22, 1998
Publication date: Mar. 19, 2002
Summary:
【要約】本発明は、隣接するショットキー(5)及びpn接合部(9)を有する半導体構成素子及びその作製方法に関し、前記接合部は半導体材料のドリフト領域(2,10)内に配置されている。
Claim (excerpt):
表面近傍の領域に交互に配置されたショットキー及びpn接合部を有し、アノード及びカソードとして外部コンタクトを備え、そして、ショットキー接合部とpn接合部との間に半導体材料(2)の低濃度ドーピングされたドリフトゾーンが設けられている半導体構成素子において、ドリフトゾーン-半導体(2)の電子的励起スペクトルにおけるバンドギャップ(Egap)と、半導体構成素子の無電圧状態におけるショットキー障壁(5)のエネルギ高さ(φbarrier)との差(Egapbarrier)が少なくとも0.8eVであることを特徴とする半導体構成素子。
IPC (2):
H01L 29/861 ,  H01L 29/872
FI (2):
H01L 29/91 D ,  H01L 29/48
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (13)
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Article cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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