感光性ペースト

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996116374
Publication number (International publication number)：1997304922
Application date： May. 10, 1996
Publication date： Nov. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを提供する。【解決手段】感光性化合物を含む有機成分と無機微粒子と可視光感光型の重合開始剤を必須成分とする感光性ペーストであって、無機微粒子の平均屈折率と有機成分の屈折率差を0.03以下にする。

Claim (excerpt)：

感光性化合物を含む有機成分と無機微粒子と可視光感光型の重合開始剤を必須成分とする感光性ペースト。

IPC (2)：

G03F 7/004 501 , H01J 9/02

FI (2)：

G03F 7/004 501 , H01J 9/02 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

感光性絶縁ペ-スト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-117494 Applicant：東レ株式会社
感光性絶縁ガラスペースト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-187208 Applicant：東レ株式会社
特開昭62-252481

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