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J-GLOBAL ID：200903096570098724

走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
安藤 和徳

About 安藤 和徳


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999211590
Publication number (International publication number)：2001041875
Application date： Jul. 27, 1999
Publication date： Feb. 16, 2001
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 表面凹凸の激しい試料の測定において測定範囲を広げること および カンチレバーのレーザ反射面先端の不安定変形の影響の無い正確な物理特性を測定可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 レ-ザ5をカンチレバ-2のレ-ザ反射面の根元寄り6に照射することで 同じ凹凸の高さであっても光位置検出器の信号変動量を小さく抑えるようにし、試料の凹凸が激しい場合でも測定範囲を広げ、カンチレバーのレーザ反射面先端の不安定変形の影響を抑え正確な物理特性を測定できるようにした。
Claim (excerpt)：
【請求項1】 先端に微小な探針を有するカンチレバーとカンチレバ-のレ-ザ反射面に照射するレ-ザとレ-ザの反射光の位置を検出する光位置検出器と試料を移動させる試料移動手段からなり 探針の変位を光位置検出器の信号を測定することで 試料表面の凹凸情報および物理特性を測定する走査型プローブ顕微鏡において、レ-ザをカンチレバ-のレ-ザ反射面の根元寄り(レバ-長手方向において 先端、中間、根元としたとき 中間と根元の間)に照射することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4)：
G01N 13/16 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/10 ,  G01N 19/04
FI (4)：
G01N 13/16 A ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 13/10 D ,  G01N 19/04 D
F-Term (20)：
2F069AA06 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069AA61 ,  2F069CC06 ,  2F069DD30 ,  2F069FF00 ,  2F069GG04 ,  2F069GG19 ,  2F069HH05 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ12 ,  2F069KK07 ,  2F069KK08 ,  2F069KK10 ,  2F069LL03 ,  2F069LL06 ,  2F069MM23 ,  2F069MM32 ,  2F069RR09
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (11)
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Cited by examiner (10)
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