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J-GLOBAL ID：200903097653603699

感放射線性樹脂組成物

Inventor：
岩永 伸一郎

About 岩永 伸一郎

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田辺 隆喜

About 田辺 隆喜

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鈴木 正睦

About 鈴木 正睦

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夏目 紀浩

About 夏目 紀浩


Applicant, Patent owner：
日本合成ゴム株式会社

About 日本合成ゴム株式会社


Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996187928
Publication number (International publication number)：1998031309
Application date： Jul. 17, 1996
Publication date： Feb. 03, 1998
Summary：
【要約】【課題】 解像度、現像性およびパターン形状が優れるとともに、PED安定性に優れ、ベーク温度依存性が小さく、プロセス安定性に優れており、高精度の微細パターンを安定して形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 例えば下記式(1)、(2)【化1】で表される繰返し単位からなる共重合体(A)と、上記式(1)および下記式(4)【化2】で表される繰返し単位からなる共重合体(B)並びに(C)感放射線性酸発生剤を含有してなり、そして上記共重合体(A)と共重合体(B)を、下記式(i)を満足する割合で含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【数1】
Claim (excerpt)：
(A)下記式(1)【化1】ここで、R1は水素原子またはメチル基である、で表される繰返し単位および下記式(2)【化2】ここで、R2は水素原子またはメチル基であり、R3およびR4は互いに独立に水素原子、メチル基またはエチル基であり、R5は炭素数2〜6のアルキレン基または炭素数2〜6のアルキリデン基であり、R6は炭素数1〜10の鎖状アルキル基、炭素数3〜10の環状アルキル基、炭素数6〜10のアリール基、炭素数7〜11のアラルキル基または炭素数1〜10のハロゲン化アルキル基であり、そしてnは0〜3の数である、で表される繰返し単位を含有する共重合体、(B)下記式(3)【化3】ここで、R7は水素原子またはメチル基である、で表される繰返し単位および下記式(4)【化4】ここで、R8は水素原子またはメチル基であり、そしてmは0〜3の数である、で表される繰返し単位を含有する共重合体、並びに(C)感放射線性酸発生剤を含有してなり、そして上記共重合体(A)と共重合体(B)を、下記式(i)を満足する割合で含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【0001】【数1】【0002】ここで、WAは共重合体(A)の重量、XAは共重合体(A)中の繰返し単位(2)の重量割合、WBは共重合体(B)の重量、XBは共重合体(B)中の繰返し単位(4)の重量割合である。
IPC (3)：
G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/30 502 R
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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