タンデム型薄膜光電変換装置とその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：深見久郎 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002380062
Publication number (International publication number)：2003347572
Application date： Dec. 27, 2002
Publication date： Dec. 05, 2003
Summary：

【要約】【課題】タンデム型薄膜光電変換装置の変換効率をさらに改善する。【解決手段】タンデム型薄膜光電変換装置は、透明絶縁基板(1)上に順次堆積された透明電極(2)、複数の光電変換ユニット(11、12)、および裏面電極(13)を含み、それら複数の光電変換ユニット(11、12)の間の少なくとも1つの境界において光を部分的に反射しかつ透過する中間層(3)が挿入されており、中間層(3)は10〜90nmの範囲内の平均厚さを有し、中間層(3)の上面は10〜50nmの範囲内にある平均凹凸ピッチを有する表面凹凸形状を含んでいる。

Claim (excerpt)：

透明絶縁基板上に順次堆積された透明電極、複数の光電変換ユニット、および裏面電極を含み、前記複数の光電変換ユニットの間の少なくとも1つの境界において光を部分的に反射しかつ部分的に透過する中間層が挿入されており、前記中間層は10〜90nmの範囲内の平均厚さを有し、前記中間層の上面は10〜50nmの範囲内にある第一の平均凹凸ピッチを有する第一の表面凹凸形状を含んでいることを特徴とするタンデム型薄膜光電変換装置。

IPC (2)：

H01L 31/04 , C23C 16/40

FI (3)：

C23C 16/40 , H01L 31/04 W , H01L 31/04 Y

F-Term (37)：

4K030AA07 , 4K030AA11 , 4K030AA20 , 4K030BA11 , 4K030BA30 , 4K030BA42 , 4K030BA45 , 4K030BA47 , 4K030CA06 , 4K030CA12 , 4K030FA02 , 4K030FA10 , 4K030LA04 , 4K030LA16 , 5F051AA03 , 5F051AA04 , 5F051AA05 , 5F051BA14 , 5F051CA02 , 5F051CA03 , 5F051CA04 , 5F051CA15 , 5F051CB04 , 5F051CB11 , 5F051CB12 , 5F051CB15 , 5F051CB27 , 5F051CB30 , 5F051DA04 , 5F051DA18 , 5F051DA20 , 5F051FA03 , 5F051FA06 , 5F051GA03 , 5F051GA14 , 5F051HA07 , 5F051KA09

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

特開昭58-57756号公報
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Cited by examiner (11)

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