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J-GLOBAL ID：200903098083444121
固相拡散接合スパッタリングターゲット組立て体及びその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
北村 欣一 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000072380
Publication number (International publication number)：2001262329
Application date： Mar. 15, 2000
Publication date： Sep. 26, 2001
Summary：
【要約】【課題】 拡散接合後でも、ターゲット材の結晶組織、結晶配向性が維持され且つバッキングプレート材の強度が確保されており、そしてターゲット材及びバッキングプレート材の変形が生じていないターゲット組立て体、及びその製造方法の提供。【解決手段】 Ti、Ta又はNbターゲット材と、Al又はその合金製バッキングプレート材との間に、Ti、Ta、Nb又はその合金の物理的蒸着被覆膜が設けられ、ターゲット材とバッキングプレート材とが拡散接合されている。該ターゲット材の接合側表面に物理的蒸着被覆膜を形成し、ターゲット材上の被覆膜を備えた面を接合面として、0.1Pa以下の真空雰囲気中、400°C〜500°Cの接合温度、50MPa以下の接合時負荷圧力及び2時間以内の接合時間で、固相拡散接合してターゲット組立て体を得る。
Claim (excerpt)：
チタン、タンタル又はニオブからなるスパッタリングターゲット材と、該ターゲット材の支持部材であるアルミニウム又はアルミニウム合金からなるバッキングプレート材と、チタン、タンタル、ニオブ又はその合金からなる物理的蒸着被覆膜とを有し、該蒸着被覆膜が該ターゲット材と該バッキングプレート材との間に設けられており、該ターゲット材と該バッキングプレート材とが固相拡散接合していることを特徴とするスパッタリングターゲット組立て体。
F-Term (9)：
4K029BA02
, 4K029BA16
, 4K029BA17
, 4K029BA21
, 4K029CA05
, 4K029DC03
, 4K029DC07
, 4K029DC22
, 4K029EA01
Cited by examiner (6)
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