Pat
J-GLOBAL ID：200903098909326546

In2O3-SnO2前駆体塗布液の製造方法およびIn2O3-SnO2薄膜の製造方法

Inventor：
福井 俊巳

About 福井 俊巳

, 
朝隈 直子

About 朝隈 直子


Applicant, Patent owner：
株式会社関西新技術研究所

About 株式会社関西新技術研究所


Agent (1)： 間宮 武雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998192783
Publication number (International publication number)：2000026120
Application date： Jul. 08, 1998
Publication date： Jan. 25, 2000
Summary：
【要約】【課題】 ゾル-ゲル法を用いて、耐熱性の低い基体上や膜特性に悪影響を与える元素を含む基板の表面にも良好な微細組織と優れた特性を有するIn2O3-SnO2薄膜をより低温で形成できる方法を提供する。【手段】 硝酸塩を出発原料としエチレングリコール、エチレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールおよびプロピレングリコールモノアルキルエーテルからなる群より選ばれた1種もしくは2種以上の溶剤を用いてIn2O3-SnO2塗布液を調製し、その塗布液を基体の表面に塗布して塗布膜を形成し、塗布膜に対し波長が280nm以下である紫外光を照射して、塗布膜中に金属インジウムおよび/または金属錫を析出させた後、塗布膜に対し波長が600nm以下であるレーザ光を照射してIn2O3-SnO2を結晶化させる。
Claim (excerpt)：
硝酸インジウムを出発原料としてIn2O3-SnO2前駆体塗布液を製造する方法において、エチレングリコール、エチレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールおよびプロピレングリコールモノアルキルエーテルからなる群より選ばれた1種もしくは2種以上の溶剤を用いることを特徴とするIn2O3-SnO2前駆体塗布液の製造方法。
IPC (2)：
C01G 19/00 ,  H01B 13/00 503
FI (2)：
C01G 19/00 A ,  H01B 13/00 503 Z
F-Term (5)：
5G323BA04 ,  5G323BA05 ,  5G323BB01 ,  5G323BB02 ,  5G323BC03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM