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J-GLOBAL ID:200903099032487620
レチクルを製造および検査するためのメカニズム
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
特許業務法人 明成国際特許事務所
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2000588700
Publication number (International publication number):2002532760
Application date: Dec. 17, 1999
Publication date: Oct. 02, 2002
Summary:
【要約】【課題】【解決手段】 集積回路の設計においてコンピュータによる設計の自動化(EDA)ツールとともに使用するための再使用可能な回路設計(250,300)と、このように再使用可能な回路設計に基づいて行われるレチクルの検査方法および製造方法と、を開示する。再使用可能な回路設計(250,300)は、コンピュータ可読媒体上に格納されており、集積回路上の回路設計のうち少なくとも一層のレイアウトパターン(260,258,302)を電子表示したものを含む。レイアウトパターンは、特殊な検査手続きまたは製造手続きを経るべきレチクル上または集積回路上のクリティカル領域(256,304)に対応するフラグ付きクリティカル領域を含む。再使用可能な回路設計の1つの態様では、レチクルの検査、レチクルの製造、集積回路の製造、および製造された集積回路の検査よりなる群から選択される技術の最中に、特殊な分析が実行される。
Claim (excerpt):
集積回路の設計においてコンピュータによる設計の自動化(EDA)ツールとともに使用される回路設計であって、 前記回路設計は、コンピュータ可読媒体上に格納されており、前記回路設計は、集積回路上の前記回路設計の少なくとも一層に関するレイアウトパターンの電子表示を含み、前記レイアウトパターンは、特殊な検査手続きまたは製造手続きを経るべきレチクルまたは集積回路上のクリティカル領域に対応するフラグ付きクリティカル領域を含み、前記フラグ付きクリティカル領域は、検査システムまたは製造システムによって可読なフラグを含む、回路設計。
IPC (2):
FI (3):
G03F 1/08 A
, G03F 1/08 S
, H01L 21/30 502 P
F-Term (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (17)
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パターン検査方法及び装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-324548
Applicant:株式会社東芝
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マスク欠陥の検出方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-188984
Applicant:ソニー株式会社
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特開平3-278057
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特開昭61-273088
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特開昭61-082425
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特開昭61-082425
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特開平2-236406
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パタン欠陥検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-072313
Applicant:日本電信電話株式会社
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マスク欠陥検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-075914
Applicant:日本電気株式会社
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設計データに基づく図形データ展開装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-254987
Applicant:株式会社東芝
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パターンを検査する検査装置の感度設定方法及び感度設定可能な検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-308602
Applicant:株式会社ニコン
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パターン形成方法とリソグラフィシステム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-046683
Applicant:株式会社東芝
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パターン検査方法およびその装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-131460
Applicant:株式会社日立製作所
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特開平1-238016
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試料検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-187464
Applicant:株式会社東芝
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特開昭59-117214
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特開昭61-140804
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