Pat
J-GLOBAL ID：201003008606657711

多波長干渉変位測定方法及び装置

Inventor：
川▲崎▼ 和彦

About 川▲崎▼ 和彦


Applicant, Patent owner：
株式会社ミツトヨ

About 株式会社ミツトヨ


Agent (3)： 高矢 諭 ,  松山 圭佑 ,  牧野 剛博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008198185
Publication number (International publication number)：2010038552
Application date： Jul. 31, 2008
Publication date： Feb. 18, 2010
Summary：
【課題】安定度の高いレーザや、高精度に波長を可変できるレーザを使用せず、広いレンジの干渉変位測定装置を実現する。【解決手段】複数の波長のレーザ光により、各波長で測定される干渉測定値を得て、各波長の組み合わせからレーザ光の波長よりも等価的に長い合成波長で測定レンジを拡大して、干渉計本体から対象物110までの距離または変位を干渉測定する際に、複数のレーザ光の波長を、光コム104を用いて測定する。ここで、光コムを用いて波長可変レーザ101の発振波長を測定してフィードバック制御をかけることにより所定の複数の波長のレーザ光を得たり、波長可変レーザを任意の波長で発振させて、複数の波長での干渉測定値を得て、各干渉測定値を得た際のレーザ光の波長(周波数)を光コムで測定したり、複数のレーザ416、417を用いて、各レーザから発振されるレーザ光の波長を光コムで測定しながら干渉測定することができる。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
複数の波長のレーザ光により、各波長で測定される干渉測定値を得て、各波長の組み合わせからレーザ光の波長よりも等価的に長い合成波長で測定レンジを拡大して、干渉計本体から対象物までの距離または変位を干渉測定する際に、 前記複数のレーザ光の波長を、光コムを用いて測定することを特徴とする多波長干渉変位測定方法。
IPC (3)：
G01B 9/02 ,  G01B 11/00 ,  G01J 9/02
FI (3)：
G01B9/02 ,  G01B11/00 G ,  G01J9/02
F-Term (30)：
2F064AA01 ,  2F064CC10 ,  2F064EE01 ,  2F064FF01 ,  2F064FF02 ,  2F064FF06 ,  2F064FF08 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG42 ,  2F064GG55 ,  2F064HH01 ,  2F064HH06 ,  2F064JJ04 ,  2F064JJ05 ,  2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065GG06 ,  2F065GG23 ,  2F065GG25 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12 ,  2F065LL22 ,  2F065NN06 ,  2F065QQ13 ,  2F065UU07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (7)
Show all
Article cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM