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J-GLOBAL ID：201003019141664548

異物とキズ痕との判別検査装置及び検査方法

Inventor：
葛西 彰男

About 葛西 彰男

, 
長崎 昇治

About 長崎 昇治

, 
米田 雅之

About 米田 雅之


Applicant, Patent owner：
株式会社山武

About 株式会社山武


Agent (1)： 宮川 宏一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008317233
Publication number (International publication number)：2010139434
Application date： Dec. 12, 2008
Publication date： Jun. 24, 2010
Summary：
【課題】検査作業に手間取ることなく微小な異物とキズ痕とを判別可能な異物とキズ痕との判別検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】デバイス素子表面の撮像データに基づいて異物とキズ痕とを判別する検査装置であって、デバイス素子に対して斜光を二方向から同時に照射する斜光照明手段10と、デバイス素子からの反射光を検出して撮像する撮像手段20と、各手段を制御すると共に撮像した画像をデジタル処理して異物かキズ痕かを判別する判別処理手段30とを備えたことを特徴とする異物とキズ痕との判別検査装置及び検査方法である。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
デバイス素子表面の撮像データに基づいて異物とキズ痕とを判別する検査装置であって、 前記デバイス素子に対して斜光を二方向から同時に照射する斜光照明手段と、 前記デバイス素子からの反射光を検出して撮像する撮像手段と、 前記各手段を制御すると共に撮像した画像をデジタル処理して異物かキズ痕かを判別する判別処理手段とを備えたことを特徴とする異物とキズ痕との判別検査装置。
IPC (1)：
G01N 21/88
FI (1)：
G01N21/88 Z
F-Term (12)：
2G051AA61 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC20 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 表面検査方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-086124   Applicant：住友金属鉱山株式会社
  • 金属表面の検査方法及び装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-068467   Applicant：大日本印刷株式会社
Cited by examiner (4)
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