プラズマ装置の供給ガス分解率測定装置及び測定方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008205384
Publication number (International publication number)：2010038867
Application date： Aug. 08, 2008
Publication date： Feb. 18, 2010
Summary：

【課題】処理をするその装置その場において、処理に必要なガス以外の、製造には不必要なガスを導入することなく、ガスの種類、粘性等に左右されず、簡単かつ正確にプラズマ装置の供給ガスの分解率を測定するプラズマ装置の供給ガスの分解率測定装置及び方法を実現する。【解決手段】プラズマ装置の反応装置3内における、プラズマ装置の反応装置3への供給ガスの物性値及びプラズマ発生後のプラズマ装置の反応装置3内のガスの物性値(粘性及び分子量等)を、所定の圧力下で水晶振動子センサ1で測定して、この物性値に依存する物性依存出力を生成し、供給ガスの物性依存出力に対するプラズマガスの物性依存出力の変化量から供給ガスの分解率を求める。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

プラズマ発生前後について、それぞれのプラズマ装置の反応装置内に存在するガスの物性値に依存する物性依存出力を測定しその変化を算出する装置と、前記物性依存出力の変化量から供給ガスの分解率を求める装置とを備えたことを特徴とするプラズマ装置の供給ガス分解率測定装置。

IPC (1)：

G01N 5/02

FI (1)：

G01N5/02 A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

特許第3873943号公報
特開昭62-272152号公報
特許第3336384号公報

Cited by examiner (5)

特開昭62-272152
ガス分解処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-082560 Applicant：キヤノン株式会社
ガス漏洩検知方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-305983 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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