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J-GLOBAL ID:201103015371474154
圧電アクチュエータ機構
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (2):
大家 邦久
, 林 篤史
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2010031954
Publication number (International publication number):2011172331
Application date: Feb. 17, 2010
Publication date: Sep. 01, 2011
Summary:
【課題】光学システムにおけるミラーホルダの調整や直動ステージの可動テーブルの位置決めの自動操作に適し、全長が短く、小形で高精度な位置・角度調整、位置決めが可能な圧電アクチュエータ機構を提供する。【解決手段】この圧電アクチュエータ機構は、送りネジ11と送りネジナット14によるネジ送り機構と、この送りネジナット14の後端面に取り付けられた円盤形ロータ17と、ロータ17の周面に接当する圧電振動子21を有する超音波モータ18と、ばね力で送りネジ11の先端に押圧され、かつ該送りネジの送り動作で変位、位置出しされる被動マウント部とを有している。被動マウント部は、例えば光学システムで用いられるミラーホルダ1や直動ステージ10の可動テーブル21とすることができる。【選択図】図1
Claim (excerpt):
送りネジと送りネジナットによるネジ送り機構と、前記送りネジナットの後端面に取り付けられた円盤形ロータと、前記ロータの周面に接当する圧電振動子を有する超音波モータと、ばね力で前記送りネジの先端に押圧され、かつ該送りネジの送り動作で変位、位置出しされる被動マウント部とを有することを特徴とする圧電アクチュエータ機構。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (5):
5H680AA19
, 5H680BB02
, 5H680BC01
, 5H680CC02
, 5H680DD02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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特開昭62-004654
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Z移動ステージ機構
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-241592
Applicant:東芝機械株式会社
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光学アラインメントねじのための圧電アクチュエータ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-063309
Applicant:ニューフォーカス,インコーポレイテッド
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