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J-GLOBAL ID:201103042981663819

外観検査装置、外観検査方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 西川 惠清
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2009208434
Publication number (International publication number):2011058940
Application date: Sep. 09, 2009
Publication date: Mar. 24, 2011
Summary:
【課題】検査対象物の濃淡画像に微分を行わずにクラックを抽出してノイズの影響を低減し、粗面に生じた微細なクラックであっても精度よく検出することを可能にする。【解決手段】検査対象物Wを撮像装置2により撮像した濃淡画像から2値化手段11により2値画像を生成する。候補選別手段13は、2値画像内で黒画素の連結成分のうち細長い形状の連結成分をクラック候補領域として抽出する。候補選別手段により抽出されたクラック候補領域は、クラスタリング手段14により、慣性主軸の傾きの類似性を用いて分類される。クラスタリング手段により分類されたクラック候補領域は、連結処理手段15により、分類ごとに連結可能性が評価される。判定手段16は、連結処理手段15が1つのクラックに属すると判断したクラック候補領域の長さの合計を用いて検査対象物Wの良否を判定する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
検査対象物を撮像した濃淡画像から2値画像を生成する2値化手段と、2値画像内で検査対象物に生じたクラックに対応した画素値を持つ連結成分のうちクラックの特性を有する連結成分をクラック候補領域として抽出する候補選別手段と、候補選別手段により抽出されたクラック候補領域を慣性主軸の傾きの類似性を用いて分類するクラスタリング手段と、クラスタリング手段により分類されたクラック候補領域について分類ごとに連結可能性を評価する連結処理手段と、連結処理手段により1つのクラックに属すると判断されたクラック候補領域を用いて検査対象物の良否を判定する判定手段とを備えることを特徴とする外観検査装置。
IPC (2):
G01N 21/88 ,  G06T 1/00
FI (2):
G01N21/88 J ,  G06T1/00 300
F-Term (32):
2G051AB01 ,  2G051AB03 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EA30 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01 ,  2G051EC03 ,  2G051EC10 ,  2G051ED08 ,  2G051ED09 ,  2G051ED21 ,  2G051ED22 ,  2G051ED23 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CE12 ,  5B057CF05 ,  5B057DA03 ,  5B057DC03 ,  5B057DC09 ,  5B057DC14
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (8)
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Cited by examiner (8)
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