Pat
J-GLOBAL ID:201103042981663819
外観検査装置、外観検査方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
西川 惠清
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2009208434
Publication number (International publication number):2011058940
Application date: Sep. 09, 2009
Publication date: Mar. 24, 2011
Summary:
【課題】検査対象物の濃淡画像に微分を行わずにクラックを抽出してノイズの影響を低減し、粗面に生じた微細なクラックであっても精度よく検出することを可能にする。【解決手段】検査対象物Wを撮像装置2により撮像した濃淡画像から2値化手段11により2値画像を生成する。候補選別手段13は、2値画像内で黒画素の連結成分のうち細長い形状の連結成分をクラック候補領域として抽出する。候補選別手段により抽出されたクラック候補領域は、クラスタリング手段14により、慣性主軸の傾きの類似性を用いて分類される。クラスタリング手段により分類されたクラック候補領域は、連結処理手段15により、分類ごとに連結可能性が評価される。判定手段16は、連結処理手段15が1つのクラックに属すると判断したクラック候補領域の長さの合計を用いて検査対象物Wの良否を判定する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
検査対象物を撮像した濃淡画像から2値画像を生成する2値化手段と、2値画像内で検査対象物に生じたクラックに対応した画素値を持つ連結成分のうちクラックの特性を有する連結成分をクラック候補領域として抽出する候補選別手段と、候補選別手段により抽出されたクラック候補領域を慣性主軸の傾きの類似性を用いて分類するクラスタリング手段と、クラスタリング手段により分類されたクラック候補領域について分類ごとに連結可能性を評価する連結処理手段と、連結処理手段により1つのクラックに属すると判断されたクラック候補領域を用いて検査対象物の良否を判定する判定手段とを備えることを特徴とする外観検査装置。
IPC (2):
FI (2):
G01N21/88 J
, G06T1/00 300
F-Term (32):
2G051AB01
, 2G051AB03
, 2G051BB01
, 2G051CA04
, 2G051CB05
, 2G051EA08
, 2G051EA11
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EA16
, 2G051EA30
, 2G051EB01
, 2G051EB02
, 2G051EC01
, 2G051EC03
, 2G051EC10
, 2G051ED08
, 2G051ED09
, 2G051ED21
, 2G051ED22
, 2G051ED23
, 5B057AA01
, 5B057BA02
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CE12
, 5B057CF05
, 5B057DA03
, 5B057DC03
, 5B057DC09
, 5B057DC14
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
-
欠陥判別方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-272411
Applicant:日立金属株式会社
-
画像処理による傷検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-306801
Applicant:松下電器産業株式会社
-
欠陥判別方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-000568
Applicant:日立金属株式会社
-
表面疵検査方法および装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-010834
Applicant:川崎製鉄株式会社
-
ひび割れ抽出装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-215826
Applicant:三菱重工業株式会社
-
コンクリート表面のクラック検出方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-195947
Applicant:石川島播磨重工業株式会社, 日本道路公団
-
半導体装置の外観検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-211796
Applicant:三菱電機株式会社
-
亀裂形状算出方法及び亀裂生成履歴推定方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-212998
Applicant:キヤノン株式会社
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