プラズマディスプレイパネルの製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：内藤浩樹 , 永野大介 , 藤井兼太郎
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2004039428
Publication number (International publication number)：2004273445
Patent number：4470518
Application date： Feb. 17, 2004
Publication date： Sep. 30, 2004
Claim (excerpt)：

【請求項1】プラズマディスプレイパネルの基板を保持した基板保持具を、成膜装置が備える搬送手段と接触または接続させて搬送することで、前記基板を搬送し成膜を行うプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記基板保持具は、第一の基板保持具と第二の基板保持具とからなり、第一の基板保持具は、複数の枠体を有し、この枠体で前記基板およびダミー基板を保持し、第二の基板保持具は、第一の基板保持具をその外周部で保持し、第二の基板保持具の両端部でのみ前記搬送手段と接触または接続することで、基板保持具全体が搬送される、ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。

IPC (4)：

H01J 9/02 ( 200 6.01) , H01J 9/46 ( 200 6.01) , H01J 11/02 ( 200 6.01) , C23C 14/50 ( 200 6.01)

FI (4)：

H01J 9/02 F , H01J 9/46 A , H01J 11/02 B , C23C 14/50 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

蒸着方法及び蒸着装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-138998 Applicant：富士通株式会社
成膜装置および成膜装置に用いる防着部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-134538 Applicant：三菱電機株式会社
薄膜形成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-105051 Applicant：株式会社島津製作所

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