Art

J-GLOBAL ID：201202231856621617   Reference number：12A0543017

Sputtering Characteristic of BN in Multilayer Coating Method

多層コーティング法におけるBNスパッタリング特性について

Author (7)： HOSODA MASAYA (東大 大学院工学系研究科) ,  CHO SHINATORA (東大 大学院工学系研究科) ,  KANEKO RYOTARO (東大 大学院工学系研究科) ,  FUJITA DAIKI (東大 大学院工学系研究科) ,  ARAKAWA YOSHIHIRO (東大 大学院工学系研究科) ,  KOMURASAKI KIMIYA (東大 大学院新領域創成科学研究科) ,  KOBAYASHI AKIRA (大阪大 接合科研)
Material： プラズマ応用科学  (Applied Plasma Science)
Volume： 19  Issue： 2  Page： 151-154  Publication year： Dec. 2011 
JST Material Number： L4460A  ISSN： 1340-3214  CODEN： POKAFE  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *Hall effect ,  electric propulsion ,  multilayer ,  covering ,  *boron nitride ,  Xenon ,  *sputtering ,  thrust ,  surface of wall ,  erosion (wear) ,  experimental equipment ,  lifetime ,  artificial satellite ,  flying object

JST classification (2)： Space crafts  (QK08000Y) ,  General theory of electronic transport  (BM03020C)

Reference (12)：

• 1) K. Kuriki, Y. ARAKAWA, Introduction of Electric Propulsion, University of Tokyo Press, 2008.
• 2) Peter Y. Peterson, David H. Manzella, Investigation of the Erosion Characteristics of a Laboratory Hall Thruster, AIAA 2003-5005, 2003.
• 3) S. YOKOTA, Y. FUKUSHIMA, D. SAKOH, K. KOMURASAKI, Y. ARAKAWA, A. KOBAYASHI, Lifetime measurement method for hall thrusters using a multi-layer coating, Journal of IAPS Vol.15-1, 2007.
• 4) S. YOKOTA, FUKUSHIMA, R. TSUKIZAKI, K. KOMURASAKI, Y. ARAKAWA, A. KOBAYASHI, Development of Hall Thruster Life Time Measurement Method Using Multilayer Coated Chip, Plasma Application and Hybrid Functionally Materials Vol.17, 2008.
• 5) S. CHO, Research for Hall Thruster Channel Wall Erosion Measurement Method, University of Tokyo Master Thesis, 2010.

Terms in the title (3)： 多層コーティング ,  BN ,  スパッタリング