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J-GLOBAL ID：201202271202988920   Reference number：12A0115227

Micro Polymer Capsule Constructed with Micro Pillars Formed by Multi Laminating Method

マルチラミネート法によるマイクロピラーで構築されたマイクロポリマーカプセル

Author (2)： YAMADA Masayoshi (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN) ,  KAWAI Akira (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
Material： Journal of Photopolymer Science and Technology  (フォトポリマー懇話会誌)
Volume： 24  Issue： 6  Page： 647-650  Publication year： 2011 
JST Material Number： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *microcapsule ,  micro structure ,  laminate structure ,  resist ,  *epoxy resin ,  spin coating ,  ultraviolet irradiation ,  heat treatment ,  microscopic mechanics ,  photoresist ,  *photoresist SU-8 ,  post exposure bake
Semi thesaurus term： *SU-8 ,  UV irradiation ,  *negative resist ,  *micropillar ,  micromechanics ,  post exposure bake

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (5)：

• 1. Anum Azam, Sensors and Aactuaters73, B 141 (1999) 14-23.
• 2. Manhee Han, Sensor and Actuators A 111, (2004) 14-20.
• 3. V, Kudryashov, Microelectronic Engineering. 67-68 (2003) 306-311.
• 4. Laura Rowe, The Royal Society of Chemistry 2007, Lab Chip 7 475-482.
• 5. A. Kawai, Daisuke Tanaka, J.Photopolym. Sci. Technol. 21 (2008) 43-46.

Terms in the title (4)： マルチ ,  ラミネート法 ,  マイクロピラー ,  構築