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J-GLOBAL ID:201203046089163464
測定装置および測定方法
Inventor:
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,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
特許業務法人原謙三国際特許事務所
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2010197638
Publication number (International publication number):2012053001
Application date: Sep. 03, 2010
Publication date: Mar. 15, 2012
Summary:
【課題】薄膜の蛍光を測定する技術において、当該蛍光を増強するための技術を提供すること。【解決手段】薄膜12の蛍光を測定するための測定装置であって、薄膜12を含む薄膜試料13が積層されているプリズム10を、任意の媒質または真空からなる環境内において支持するための透光部材支持部と、プリズム10と薄膜試料13との界面に対し、プリズム10側から、プリズム10と環境との界面における臨界角以上の特定の入射角で光L1を照射して、薄膜試料13における光吸収を増大させる励起手段と、当該光吸収を増大させることによって増強された、薄膜12からの蛍光L3を測定する蛍光測定手段と、を備えている測定装置を提供する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
薄膜の蛍光を測定するための測定装置であって、
該薄膜を含む薄膜試料が積層されている透光部材を、任意の媒質または真空からなる環境内において支持するための透光部材支持部と、
該透光部材と該薄膜試料との界面に対し、該透光部材側から、該透光部材と該環境との界面における臨界角以上の特定の入射角で光を照射して、該薄膜試料における光吸収を増大させる励起手段と、
該光吸収を増大させることによって増強された、該薄膜からの蛍光を測定する蛍光測定手段と、を備えていることを特徴とする測定装置。
IPC (3):
G01N 21/64
, G01N 21/21
, G01N 21/47
FI (4):
G01N21/64 G
, G01N21/64 E
, G01N21/21 Z
, G01N21/47 Z
F-Term (22):
2G043AA03
, 2G043CA07
, 2G043EA01
, 2G043HA01
, 2G043HA02
, 2G043HA09
, 2G043HA15
, 2G043JA01
, 2G043KA02
, 2G043KA09
, 2G059AA02
, 2G059BB10
, 2G059EE02
, 2G059EE07
, 2G059GG01
, 2G059GG04
, 2G059HH02
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ19
, 2G059JJ22
, 2G059JJ25
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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