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J-GLOBAL ID：201203082432909490

過硫酸濃度の測定方法、過硫酸濃度測定装置、及び過硫酸供給装置

Inventor：
山川 晴義

About 山川 晴義


Applicant, Patent owner：
栗田工業株式会社

About 栗田工業株式会社


Agent (1)： 横井 幸喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011047397
Publication number (International publication number)：2012189320
Application date： Mar. 04, 2011
Publication date： Oct. 04, 2012
Summary：
【課題】濃度測定後の過硫酸含有硫酸溶液の利用を妨げることなく、過硫酸含有硫酸溶液中の過硫酸濃度を的確に測定することができる過硫酸濃度の測定方法及び過硫酸濃度測定装置並びに該測定装置を有する過硫酸供給装置を提供する。【解決手段】過硫酸含有硫酸溶液に接液される作用極3a及び参照極3bと、参照極3bに対する作用極3aの電位を掃引し、その際の応答電流を測定するポテンショスタット4と、作用極3aの電位が予め設定した負の電位にあるときにポテンショスタット4により測定された第1の電流値に基づいて全酸化剤濃度を求めるとともに、作用極3aの電位が予め設定した正の電位であるときにポテンショスタット4により測定された第2の電流値に基づいて過酸化水素濃度を求める酸化剤濃度判定部5と、酸化剤濃度判定部5で求められた全酸化剤濃度と過酸化水素濃度とに基づき過硫酸濃度を判定する過硫酸濃度判定部6とを有する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
過硫酸含有硫酸溶液に参照極及び作用極を接液して前記参照極に対する前記作用極の電位を掃引して応答電流を測定するボルタンメトリにより前記過硫酸含有硫酸溶液中の過硫酸濃度を測定する方法であって、 前記作用極の電位が予め設定した負の電位にあるときの前記応答電流を測定し、測定された第1の電流値に基づいて前記過硫酸含有硫酸溶液に含まれる全酸化剤の濃度を求め、 前記作用極の電位が予め設定した正の電位にあるときの前記応答電流を測定し、測定された第2の電流値に基づいて前記過硫酸含有硫酸溶液に含まれる過酸化水素の濃度を求め、 前記全酸化剤濃度と前記過酸化水素濃度との差を前記過硫酸濃度とすることを特徴とする過硫酸濃度の測定方法。
IPC (3)：
G01N 27/48 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304
FI (4)：
G01N27/48 311 ,  H01L21/30 572B ,  H01L21/304 647Z ,  H01L21/304 648G
F-Term (17)：
5F046MA02 ,  5F146MA02 ,  5F157AA46 ,  5F157AA91 ,  5F157AC01 ,  5F157BC13 ,  5F157BC53 ,  5F157BE22 ,  5F157BE23 ,  5F157BE43 ,  5F157CD34 ,  5F157CE37 ,  5F157CF42 ,  5F157DA21 ,  5F157DB03 ,  5F157DB41 ,  5F157DC82
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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