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Art
J-GLOBAL ID：201302276643014041   Reference number：13A0850314

NbN薄膜を用いたテラヘルツ帯・力学インダクタンス検出器の作製と評価

Author (11)：
ARIYOSHI SEIICHIRO

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(名古屋工大 大学院)

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SAITO ATSUSHI

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TAINO TOORU

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(埼玉大 大学院)

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YAMADA HIRONOBU

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(山形大 大学院)

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About OTANI CHIKO

(理研)

About 理研

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BAE Jongsuck

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(名古屋工大 大学院)

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Material：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))

About 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)


Volume： 60th  Page： ROMBUNNO.28P-G10-7  Publication year： Mar. 11, 2013 
JST Material Number： Y0054B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)
Thesaurus term：
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niobium compound

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magnetron sputtering

About magnetron sputtering

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response

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JST classification (1)：
JST classification
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 Infrared photometry and photodetectors 
(BD07032W)

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Terms in the title (7)：
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薄膜

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テラヘルツ

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力学インダクタンス

About 力学インダクタンス

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検出器

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作製

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評価

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