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J-GLOBAL ID：201303011070134390

カーボンナノチューブ形成装置、カーボンナノチューブ形成方法

Inventor： ▲杉▼本 敏司 ,  川瀬 智之 ,  木内 正人 ,  松谷 貴臣 ,  阿川 義昭 ,  原 泰博 ,  鈴木 康正 ,  勝俣 貴司
Applicant, Patent owner： 国立大学法人大阪大学 ,  独立行政法人産業技術総合研究所 ,  株式会社アルバック
Agent (2)： 石島 茂男 ,  阿部 英樹
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2006224097
Publication number (International publication number)：2008044828
Patent number：4919272
Application date： Aug. 21, 2006
Publication date： Feb. 28, 2008
Claim (excerpt)：

【請求項1】 真空槽と、 前記真空槽内に配置され、基板が載置される下部電極と、 前記下部電極と対面する位置に配置された上部電極と、 前記下部電極と前記上部電極の間に位置し、複数の通気孔が形成された中間電極と、 前記真空槽内の前記上部電極と前記中間電極の間に炭化水素ガスを導入する原料ガス導入系と、 前記上部電極に接続され、前記中間電極に対する正電圧と負電圧を、前記上部電極に交互に印加する電源装置とを有し、 前記正電圧の絶対値の方が、前記負電圧の絶対値よりも大きくされたカーボンナノチューブ形成装置。

IPC (1)：

C01B 31/02 ( 200 6.01)

FI (1)：

C01B 31/02 101 F

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• プラズマ化学気相蒸着装置及びこれを用いた炭素ナノチューブの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-280337   Applicant：学校法人漢陽学院
• カーボンナノチューブの作製方法、及びカーボンナノチューブの作製装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-032036   Applicant：国立大学法人名古屋大学
• カーボンナノチューブの作製方法、及びカーボンナノチューブの作製用基板
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-092471   Applicant：国立大学法人名古屋大学
• 成膜方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-075058   Applicant：株式会社アルバック, 独立行政法人産業技術総合研究所

Cited by examiner (4)

• プラズマ化学気相蒸着装置及びこれを用いた炭素ナノチューブの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-280337   Applicant：学校法人漢陽学院
• カーボンナノチューブの作製方法、及びカーボンナノチューブの作製装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-032036   Applicant：国立大学法人名古屋大学
• カーボンナノチューブの作製方法、及びカーボンナノチューブの作製用基板
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-092471   Applicant：国立大学法人名古屋大学
• 成膜方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-075058   Applicant：株式会社アルバック, 独立行政法人産業技術総合研究所